① 如何提高光谱仪的分辨率
在光栅光谱仪中，有三种方法：
1，用高刻线数光栅
2，用卓立汉光长焦距谱仪
3，适当减小狭缝宽度
② 光刻分辨率
光刻分辨率是指将硅片上两个邻近的特征图形区分开来的能力。光刻中的一个重要的性能指标指的是每个图形的分辨率。在先进的半导体集成电路制造中，为获得高集成度器件分辨率很关键。光刻分辨率对任何光学系统都是一个重要的参数，并且对光刻很关键，因为需要在硅片上制造出极小的器件尺寸。硅片上形成图形的实际尺寸就是特征尺寸，最小的特征尺寸即关键尺寸，对于关键尺寸来说，光刻分辨率很重要。光刻技术类似于照片的印相技术，光刻胶相当于相纸上的感光材料，光刻掩模相当于相片底片。光刻技术通过显影、定影、坚膜等步骤溶解掉光刻掩模上的一些区域，形成版形。
伴随集成电路制造工艺的不断进步，线宽的不断缩小，半导体器件的面积正变得越来越小，半导体的布局已经从普通的单一功能分离器件，演变成整合高密度多功能的集成电路。由最初的IC(集成电路)随后到LSI(大规模集成电路)和VLSI(超大规模集成电路)，直至今天的ULSI(特大规模集成电路)，器件的面积进一步缩小，功能更为全面强大。由于半导体工艺研发的复杂性、长期性和高昂的成本等等不利因素的制约，如何在现有技术水平的基础上进一步提高器件的集成密度，缩小芯片的面积，在同一枚硅片上尽可能多的得到有效的芯片数，从而提高整体利益，将越来越受到芯片设计者和制造商的重视。这其中的主要手段是不断提升或采购先进的光刻设备，以求在光学上得到更高的分辨率表现以及提升光刻胶的化学表现。现针对这两个方面进行说明从光学方面来讲光的衍射是光通过不透明体边缘，穿过狭缝或从划有平行直线的表面反射时产生偏折并出现一些彼此平行的亮带和暗带的现象。半导体生产中使用的光刻技术主要基于上述原理当光线通过掩膜版时，由于受到掩膜版图形的影响，使光线发生偏折，根据掩膜版图形的尺寸大小从而产生数量不同的衍射级数，基本的计算工式P*Sinα＝n*λ (公式1)P是图形的透明区域和不透明部分宽度的总和；α是衍射角度；λ是光刻机使用的波长；n即是衍射级数。
根据数值孔径的分辨率的概念和计算公式NA＝N*Sinα (公式2)R＝K1*λ/NA (公式3)数值孔径NA(Numerical Aperture)是光刻机镜头能力的重要表征，数值越高其带来的分辨率R越高；N是光酸的浓度；K1是系数因子，与工艺的能力，设备的波长，数值孔径等的基本参数相关。当数值孔径为某个定值时通过公式2可以得到最大有效衍射角，由此带入公式1得到可以被镜头收集的衍射级数。收集的衍射级数越多，图形的逼真程度越高，由此得到的空间图像对比度也会大大提高。因此，不断提高数值孔径即是光学上提高分辨率的一条根本途径，但由于设备的制造成本不断激增，镜头的制备也难上加难，无疑未来这条路将变得十分坎坷、艰辛。
③ 如何提高光学仪器分辨率举例
在了解光学分辨率之前应首先明确扫描仪的分辨率分为光学分辨率和最大分辨率，由于最大分辨率相当于插值分辨率，并不代表扫描仪的真实分辨率，所以我们在选购扫描仪时应以光学分辨率为准。 光学分辨率是指扫描仪物理器件所具有的真实分辨率。而且，扫描仪的光学分辨率是用两个数字相乘，如600*1200线，其中前一个数字代表扫描仪的横向分辨率，例如一个具有5000个感光单元的CCD器件，用于A4幅面扫描仪，由于A4幅面的纸张宽度是8.3英寸，所以，该扫描仪的光学分辨率就是5000/8.3=600dpi，换句话说，该扫描仪的光学分辨率是600dpi。后面一数字则代表扫描仪的纵向分辨率或是机械分辨率，是扫描仪所用步进电机的分辨率，扫描仪的步进电机的精度与扫描仪的横向分辨率相同，但由于各种机械因素的影响，扫描仪的实际精度（步进电机的精度）将远远达不到横向分辨率的水平，一般来说。扫描仪的纵向分辨率是横向分辨率的两倍，有时甚至是四倍。如：600*1200dpi。但有一点要注意：有的厂家为了显示自己的扫描仪精度高，将600*1200dpi写成1200*600dpi，因此在判断扫描仪光学分辨率时，应以最小的一个为准
④ 提高光谱分辨率的最佳方式是什么，是减小光谱通带的宽度，还是其他的什么办法
遥感中光谱分辨率是指波段的宽度。还可以通过提高波段数
⑤ 光学显微镜分辨率的提高主要途径有哪些
借助光学显微镜 ，人们能用肉眼直接看到细胞、细菌和其他微生物，分辨本领可达10-4mm左右．但不管放大倍数具体多大，比10-4mm还小的东西始终看不清了，这是因为在光学显微镜中，利用点光源发出的光波进入显微镜时，由于光的衍射，使成的像不是一个完全清晰的点，而是有一定大小的光斑．随着生产和科学技术的发展，人们对微观世界的探索要求越来越迫切，推动科学家发明了电子显微镜．这是受德布罗意物质波的启发而来的。 从波的角度看，波长越短，衍射现象越不明显，因此，要提高成像分辨率必须改用波长比可见光短得多的射线．根据德布罗意物质波长关系式λ=h/mv，可看出，要减小波长有两个途径：一是增大粒子质量；二是增大粒子速度。电子显微镜采用了增大粒子速度的办法．它通过对电子的加速来提高电子的动能，从而缩短电子的波长．若加速电子所用的高压为U，电子被加速到最大动能为eU，则由波长公式得λ=h/√2em0U，可见只要提高加速电压U就可以缩短电子射线的波长，所以也可以说电子显微镜是采用了提高加速电压的方法来提高显微镜的分辨本领的。 如果显微镜不用电子流而用质子流，若它们加速后的速度相同，但由于质子的质量比电子的质量大得多（电子的静止质量9.1×10-31kg，质子的静止质量1.7×10-27kg），由上式可看出也能使显微镜的分辨本领提高很多倍。
⑥ 提高光学仪器分辨本领的方法是什么
提高光学仪器的分辨本领应增大放大倍数还是增大物镜孔径数值孔径表征物镜的聚光能力，是物镜的重要性质之一，通常以“NA”表示。物镜的数值孔径大小决定了物镜的分辨能力（鉴别）及有效放大倍数。根据理论推导得出：NA=nsinθ增大物镜的数值孔径有两个途径： ⑴ 增大透镜的直径或减小物镜的焦距即设计短焦距的物镜，以增大孔径半角θ。但此法会导致像差增加及制造困难，一般不采用。实际上sinθ的最大值只能达到0.95。 ⑵ 增大物镜与观察物之间的折射率n。干系物镜是以空气为介质的，折射率n=1，一般用于低倍物镜。油系物镜常以松柏油（n=1.515，NA=1.4）、α-壹代溴萘（n=1.658，NA=1.60）为介质，用于高倍物镜。油物镜的数值孔径此时可达1.30~1.40，其放大倍数可达100~140倍。但干系物镜不能随便用油作为介质。物镜的最小数值孔径系列、参数、色圈及标志 按照色差校正分类（等级）根据轴色差（纵向色差）校正的程度，可以分为消色差、半消色差（Fluorite）、复消色差3个等级。产品阵容也按照普通级别到高级别排序，价格不同。
⑦ 激光是怎样将光谱学的分辨率提高的
在激光没有发展之前，由于所有的光谱方法都无法消除因原子（或分子）运动所引起的多普勒加宽，致使光谱分辨率始终无法突破这一限制，不管你采用多么大的光栅和多么好的法布里－珀罗干涉仪，其光谱分辨率却只能停留在104～106的量级。这已成为高分辨光谱学发展的一个重大障碍。激光出现以后，情况发生了革命性变化，科学家们利用激光与物质相互作用的非线性效应，如饱和吸收、双光子过程，以及瞬态光学效应等，不仅可以突破原子多普勒加宽给高分辨光谱带来的限制，甚至还可突破自然线宽的限制，实现亚自然线宽的超高光谱分辨率。目前，非线性激光光谱已达到了1010～1014的超高分辨率，使光谱学的分辨率一下子提高了7～8个量级。正因为激光光谱具有这种非凡特性，人们才有可能涉足于过去无法想象的对黎德堡态和自电离态的研究。因此，可以说激光光谱又为人们窥视更深一层的微观世界打开了一扇封闭的门。
⑧ 极紫外光刻为什么能提高分辨率
波长短
EUV光刻采用波长为10-14纳米的极紫外光作为光源，可使曝光波长一下子降到13.5nm,它能够把光刻技术扩展到32nm以下的特征尺寸。