最简单的干涉检查方法

Ⅰ 如何利用空气劈尖干涉检查工件表面的平整度

对于干涉条纹向左弯曲的部分，意味着原本应该出现某一级干涉条纹的地方已经被更高级次的干涉条纹所取代。而干涉条纹的级次越高，对应处的薄膜厚度越大，所以平板上该处是下凹的。注此处劈尖开口向右。

两束反射光为斜面反射光和工件反射光，加入工件平整的话，以最左端为x轴沿着向右方向相同距离所产生的高度差是一样的，会观察到等间距的平行干涉条纹，若是不平整有凹陷的话条文会提前出现，有凸起的话条文会滞后出现，发生变化的条文只是部分。

(1)最简单的干涉检查方法扩展阅读：

光波、水波及声波等都会发生干涉。当两束光波发生干涉时，会使有些区域变亮而有些区域变暗，即出现干涉条纹。

干涉条纹的出现对于光学测量微小变形具有重要意义，同时也广泛存在于生活中，如半透膜，彩色的肥皂泡等。

光波是以正弦波的形式在介质中传播的，由于光波传播的独立性和线性叠加性，两束或两束以上同频光波相遇时，会根据相位的不同出现光强增强或减弱的现象。

两列频率相同的波在同一介质中传播发生重叠时，重叠范围内介质的质点同时受到两个波的作用。若波的振幅不大，此时重叠范围内介质质点的振动位移等于各别波动所造成位移的矢量和，这称为波的叠加原理。

若两波的波峰（或波谷）同时抵达同一地点，称两波在该点同相，干涉波会产生最大的振幅，称为相长干涉若两波之一的波峰与另一波的波谷同时抵达同一地点，称两波在该点反相，干涉波会产生最小的振幅。

Ⅱ 利用光的干涉来检测物体表面的平整度的方案

利用光的干涉来检测物体表面的平整度可以用一个标准平板在上方，待测平板在下方，组成空气劈尖。如果待测平板表面不平整，产生的等厚干涉条纹就会发生弯曲。

根据薄膜干涉的道理，可以测定平面的平直度．测定的精度很高，甚至几分之一波长那么小的隆起或下陷都可以从条纹的弯曲上检测出来．若使两个很平的玻璃板间有一个很小的角度，就构成一个楔形空气薄膜，用已知波长的单色光入射产生的干涉条纹，可用来测很小的长度．