平晶检测方法

1. 如何用干涉仪检测平面平晶

“计算干涉条纹误差”，你说的是用干涉条纹来计算平晶的面形误差吧？
如果要定量计算，一般最好是用移相干涉法，可以得到每一点的相对高度，从而得到整个面的面形。如果只有一幅干涉图，就只能倾斜平晶或者参考镜使得干涉条纹变成密集陆唯的直线组，然后用傅里叶变换法求解。
如果只是定性的看一看面形好坏则比较简单了，如果条纹都是直条纹，说明面形是好的，如果条纹弯的毁悉穗就说明面形不好，弯的越厉害面形越差。

如果要了解详细的纤卜还是找本书看看吧，比如北理工出版社《光学测试技术》。

2. 千分尺平面度用干涉条纹发怎么算

1.千分尺测量面的平面度测量

千分尺的测量面平面度的平晶检测方法，平晶即平面平晶，其工作面是理想平面，平晶是利用光波干涉现象，将微小几何形状误差变为干涉条纹进行读数的测量平面度和直线度的工具，我们在检定千分尺时用的通常为1级平面平晶。检测时将平晶工作面和被检测量面用航空汽油擦净后，把平晶工作面靠在被测面上，当被测面是理想平晶时则平晶工作面与被测面紧密接触，没有空气层，所以看到的干涉条纹为平直状，如果被测面不是理想平面，平晶工作面与被测面之间有空气层，于是我们看到的不是平行明暗交替的干涉条纹，而变成了圆形多条干涉条纹。被测面平面度越差，干涉条纹变形越大。当偏差大到一定程度时，就变成光圈，因此，我们可以根据干涉条纹的形状或光圈的数量计算出被测平面的偏差量——平面度。如图1为干涉条纹反映平面度由好到差的3种情况。

根据干涉条纹计算平面度，被测面的平面度δ是由通过平晶直径方向上干涉条纹的弯曲量（h）相对于条纹的间距（H）乘以所用光的波长（λ）的一半计算的：

根据光圈计算平面度。当干涉条纹的弯曲量等于干涉条纹的间距，即h=H时，干涉条纹就变成光圈：=N=1，根据光圈计算平面度时，在光圈大于1的情况下，是取平晶直径方向上光圈数最多的光圈数（N）乘以所入光的一半为平面度δ=N

2.千分尺测量面的平行度的测量

对于100mm以下的千分尺测量面平行度检定,通常我们使用平行平晶，将平行平晶放在千分尺两测量面间，使千分尺两测量面与平行平晶两个工作面接触，接触面之间产生干涉条纹，以平行平晶两工作面上产生的干涉条纹数代入（m+n）r/2公式计算平行性。（其中，m，n为两测量面上产生的干涉条纹数；r为所用光源的波长）。检定需要四块平行平晶，其尺寸彼此差值相当于微动螺杆四分之一周，依次使四块平行平晶与千分尺测量面接触，并调到干涉带条数为最少时进行读数，最后以四块平行平晶在千分尺两测量面产生干涉条纹数最多的一块作为千分尺的平行度。

对于大于100mm以上的千分尺测量面平行度检定通常搜逗我们使用量块，用对应千分尺测量范围的量块放在千分尺两测量面间，用量块同一个位置对千分尺测量面的上下左右四个位置上分别读数，并求出差值，其中最大值即为被检千分尺的测量面平行度。

3.千分尺测量面的平面度超差和千分尺测量面间的平行性超差的调修

千分尺两测量面的平面度与平行度不合格，通常是研磨修信仔复，三块以上研磨器、W2-W10研磨膏、煤油、平面度和平行度合格的测微螺杆等设备组成调修工具，用平面度优于0.3um,且测量面与螺杆轴心垂直度已得到验证的测微螺杆取代原千分尺测微螺杆，并以其测量面为基准；在研磨器的一面均匀涂上用煤油和研磨膏，另一面只涂润滑剂；然后将研磨膏的一面与待修千分尺固定测砧测量面相接触，另一面接触测微螺杆测量面作为基准，这样可使其两测量面保持平行，研磨时，大拇指、食指、中指捏住研磨器，保持平衡均匀用力，研磨器的前后推动并上下拉动，均匀旋转运动；将原测微螺杆旋入滑漏汪，以研磨合格的固定测砧测量面为基准，按上面方法研磨测微螺杆测量面，研磨工作如图2所示。

对于测量范围在300毫米以上千分尺有些测砧是可调的，测量面的平面度与平行性的修理可以将测砧测量面、测微螺杆测量分别研磨，大尺寸千分尺测微螺杆同样也是（0-25）mm的，可以将测微螺杆拆下旋入标准的（0-25）mm千分尺内，研磨测微螺杆测量面的平面度和平行度，研磨好再旋入待修大尺寸千分尺内测量平面度和平行度，进行测砧平面度研磨和调整，最后检定。这是传统手工研磨方法，非常有效，但不易操作，目前也有很多自动型研磨机进行平面度和平行度的调修，有条件的单位也可以配置千分尺测量面平行度检查仪等专用测量器具。

千分尺测量面的平面度和平行度是示值误差的主要引入方面，是我们日常检定工作中主要关注的要点，根据多年从事千分尺修理方面的知识，相关人员目前正在着手设计大尺寸外径千分尺研磨夹具，以便能不拆卸测微螺杆直接研磨。

3. 如何测量平行度

问题一：平行度、垂直度、平面度一般如何检测？ 一般是用千分表或则时百分表来检测的，也就是打表的方法，具体起来就是和其他东西配合起来使用，具体工件和形位公差不同用不同的方法。比如轴类的跳动就是可以在偏摆仪或者时齿跳仪上用双顶尖定位后用百分表（车削后）或者千分表（磨削后）来检测。要是平面度的话，就有点麻烦了，需要把工件放到一个标准平板上（一般是铸铁磨削后刮，具有很高的平面度的基准，精度高也有用大理石的），平面有规律的取几个点，比如像田字的那九个点样子。然后通过一定的计算换算出平面度，这个要麻烦。平行度和垂直度一般是有一定的检测仪器获得自制检具，比如两个平面的平行度检测，把基准平面放到一个平面度很高的检具上，直接用表打出数值就是结果，比如孔轴线对端面的垂直度，就用一根精密程度很高的芯棒插到孔里面去（可对孔的公差准备多根不同直径而直径差距非常小的芯棒），然后把芯棒放到偏摆仪或者齿跳仪上去，打端面表的，看结果。一般来说检测方法都比较麻烦，所以一般要是批量生产的话形位公差多为抽检。但现在也有各种检测仪器。一般价格都比较昂贵并且不一定最终的综合效率比上述的方法高，但对一些零件只有用这些仪器来检测。

问题二：两个平面的平行度怎么测量? 用千分尺测出他的高低值.就是他的平行度.这是最简单的一种.还有一种就是把基准面放胆平板上,用表来测量另一面的值也可以.

问题三：平行度如何简单快速测量 简单快速的测量平行度，可以考虑使用机床测头，加工后卸下刀具，安装上测头，通过调用测量宏程序，控制机床测头来采集工件某些点的空间坐标值，与理论值对比即可，机床测头具有高测量效率，闭轮简单快速，精度可达1um。

问题四：怎样用百分表测量两个面的平行度 可以把产品（零件）放在平板上，然后再百分表多次测量，所得数据中的最大差值为两个面的平行度

问题五：平行度测量用什么仪器好？ 不是一句话能够说清楚的，这要看你的产品大小和结构，还要看被测要素与基准要素之间空间位置关系，具体问题具体分析。你应该说清楚你的产品是什么，产品有多大，是什么几何要素对什么几何要素的平行度（线MM线、线MM面、面MM线、面MM面的哪一种，线是表面直线还是轴心线，面是表面还是中心面，等等）。你说的方法是平面度检测方法的“打表法”，因为上述情况你都没有说清楚，所以很难说打表法是否适合于你的产品平行度检测。 如果是相同位置的上下表面平行度，表面的边长或直径不十分大时，可以放在平板上用千分表、百分表、测微计等指示计采用打表法检测。如果表面的边长或直径太大，就找不到合适的检验平板，而无法使用打表法，但可用千分尺测量不同位置的厚度差来检测平行度。如果是一个表面相对于另一个位置表面的平行度则无法用测量厚度差的方法检测。 如果是片状产品的一条直线相对于另一条直线的平行度，打表法并不适用，有效的检测方法是影像法检测，可以使用万工显、投影仪等埂产品大小超过万工显测量范围时可岁态闹以使用带有CCD系统的三坐标测量机。 当产品大小为数米，数十米时，最佳方法应该是使用电子水平仪（或合像水平仪）加桥板，或者激光自动跟踪仪等分别检测基准要素和被测要素，通过数据处理来实现平行度检测。

问题六：如何自动测量平行度 这个取供于你零件的结构，还有需要的精度要求，有很多以前可以实现自动，类似三座标测量仪，还有各种影像测量设备都可以

问题七：门与框架平行度 如何测量，详细一点，请教各位大神 矩形的对角线长度相等，所以一般直接量门或门框的宽度上下是否相等，对角线是否长度相等就知道是否是一个矩形。

问题八：千分尺的平行度如何测量？ 一般用平性平晶和量块检千分尺的乎罩平行度。若用量块检、你怕测不准（因为1／4D），就用可用平晶检。具体如下：检定时，将平行平晶放在千分尺两测量面间，转动千分尺测杆，使千分尺两测量面与平行平晶两个测量面接触，接触面之间产生干涉条纹，以两测量面上产生的干涉条纹数代入（m+n)r/2式。其中，m,n为两测量面上产生的干涉条纹数；r为所用光源的波长。检定需要四块平性平晶，其尺寸彼此差值相当搐微动螺丝四分之一转依次使四块平性平晶与测量面接触，并调到干涉带条数为最少时进行读数。最后以四块平性平晶在外径千分尺两测量面产生干涉条纹数最多的一块作为千分尺的平行性。

问题九：面对面的平行度测量方法 面对面的平行度测量方法传统方法
1、测量面对面平行度误差
公差要求是测量面相对于基准平面的平行度误差。基准平面用平板体现，如下图所示。测量时，双手推拉表架在平板上缓慢地作前后滑动，用百分表或千分表在被测平面内滑过，找到指示表读数的最大值和最小值。
2、测量线对面平行度误差
公差要求是测量孔的轴线相对于基准平面的平行度误差。需要用心轴模拟被测要素，将心轴装于孔内，形成稳定接触，基准平面用精密平板体现，如下图所示，测量时，双手推拉表架在平板上缓慢地作前后滑动，当百分表或千分表从心轴上素线滑过，找到指示表指针转动的往复点(极限点)后，停止滑动，进行读数。在被测心轴上确定两个测点a、b，设二测点距离为12，指示表在二测点的读数分别
3、测量线对线平行度误差
公差要求是测量孔的轴线相对于基准孔的轴线的平行度误差。需要用心轴模拟被测要素和基准要素，将两根心轴装于基准孔和被测孔内，形成稳定接触，如下图所示：测量前，要先找正基准要素，找正基准心轴上素线与平板工作面平行。实验时用一对等高支承基准心轴，就认为找正好了。也可以用一个固定支承和一个可调支承基准心轴，双手推拉表架在平板上缓慢地作前后滑动，调整可调支承，当指示表在基准心轴上素线左右两端的读数相同时，就认为找正好了。
新型方法
测量仪器：偏摆仪、百分表、数据采集仪、影像测量仪、三坐标测量机
测量原理：数据采集仪会从百分表中自动读取测量数据的最大值跟最小值，然后由数据采集仪软件自动计算出平行度误差，最后数据采集仪会自动判断所测零件的平行度误差是否在平行度公差范围内，如果所测平行度误差大于平行度公差值，采集仪会自动发出报警功能，提醒相关操作人员该产品不合格。测量效果示意图：
数据采集仪连接百分表测量平行度误差示意图
数据采集仪连接百分表测量平行度误差示意图
优势：
1）无需人工用肉眼去读数，可以减少由于人工读数产生的误差；
2）无需人工去处理数据，数据采集仪会自动计算出平行度误差值。
3）测量结果报警，一旦测量结果不在平行度公差带时，数据采集仪就会自动报警。

问题十：三坐标怎么测量两个方向的平行度 50分 平行度指两平面或者两直线平行的程度，指一平面（直线）相对于另一平面（直线）平行的误差最大允许值。
以Lab为基准求直线Lab和直线Lcd平行度 ，设直线Lab与Lcd‘ 平行，d’是b点对应在Lcd‘的点， dd’两点间的距离（△dd’）即为平行度差值
三维坐标计算：
设立独立坐标系：a（0,0,0）点为原点；b点（0，b，0）；c点（c，0，0）；d（x，y，z）；d‘（c，b，0）
带入两点间公式：|AB|=√[(x2－x1)^2+(y2－y1)^2+(z2－z1)^2]
可得：△dd’=√[(x－c)^2+(y－b)^2+(z－0)^2]
望采纳！

4. 平晶测量平面性是根据什么原理

就是利用光线的干涉原理，在波的传播过程中，介质中质点的振动虽频率相同，但步调不一致，在波的传播方向上相距△x=（n=0，1，2，…）两个质点的振动步调一致，为同相点；相距（n=0，1，2，…）的两个质点的振动步调相反，为反相点。波源S1、S2产生两列波在同一介质中传播，介质中各质点同时参与两个振源引起的振动。质点的振动为这两个振动的矢量和，介质中的P点，如图离两波源距离分别是S1P、S2P，若S1、S2是同步振动，那么它们对P引起的振动的步调差别完全由距离差△s=S1P－S2P决定。当△s=（n=0，1，2，…），即距离差为波长的整数倍时，两波源在P点引起的振动的步调一致，为同相振动，叠加结果是两数值之和，即振动加强，是强点；当（n=0，1，2，…），即距离差为半波长的奇数倍时，两振源在P点引起的振动的步调相反，为反相振动，叠加结果是两数值之差，即振动减弱，是弱点；由此看来，强点与弱点只与位置有关，不随时间变化。正因为不随时间变化，才被观察到，才能形成干涉图样。

5. 什么是一级平晶

平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，1级精度的为0.03～0.05微米。

光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面，它能够产生光波干涉条纹（见激光测长技术）。平晶用光学玻璃或石英玻璃制造吵裤。常用的平晶有平面平晶、长平晶和平行平晶。

平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，图1a为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。圆柱形平面平晶的直径通常为 45～150毫米。其光学测量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03～0.05微米；2级精度的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的有锋轿效长度一般为200毫米。

(5)平晶检测方法扩展阅读：

用途

平面平晶是用于以干涉法测量块规，以及检验块规、量规、零件密封面、测量仪器及测量工具量面的研合性和平面度的 常用工具。

适用于光学加工厂、厂矿企业计量室、精密加工车间、阀门密封面现场检测使用，也适用于高等院校、科学研究等单位做银碰肆平面度等检测。

6. 常用平整度检测方法有哪四种

1、塞尺测量法

只需一套可随身携带的塞尺就可随时随地进行平面度的粗测。目前很多工厂仍使用该方法进行检测。由于其精度不高，常规最薄塞尺为10um，检测效率较低，结果不够全面，只能检测零件边缘。

2、液平面法

基于连通器工作原理，适合测量连续或不连续的大平面的平面度，但测量时间长，且对温度敏感，仅适用于测量精度较低的平面。

3、激光平面干涉仪测量法

最典型的用法是平晶干涉法。但主要于测量光洁的小平面的测量，如千分头测量面，量规的工作面，光学透镜。

4、水平仪测量法

广泛用于工件表面的直线度和平面度测量。测量精度高、稳定性好、体积小、携带方便。但是用该方法测量时需要反复挪动仪器位置，记录各测点的数据，费时、费力，调整时间长，数据处理程序繁琐。

5、打表测量法

典型应用为平板测微仪及三坐标仪，其中优以三坐标仪为应用最广泛。测量时指示器在待测样品上移动，按选定的布点测取各测量点相对于测量基准的数据，再经过数据处理评定出平面度误差。但其效率较低，通常一个样品需要几分钟，离15ppm的期望相差甚远。

(6)平晶检测方法扩展阅读：

影响路面平整度因素可涉及到设计，施工，自然条件等方方面面，优良的路面平整度，要依靠优良的施工装备，精细的施工工艺，严格的施工质量控制以及经常和及时的养护来保证.影响沥青混凝土路面平整度的因素主要有：不均匀沉降，摊铺工艺，碾压工艺，横接缝处理，配合比设计，下承层病害等.

平整度直接反映了车辆行驶的舒适度及路面的安全性和使用期限。路面平整度的检测能为决策者提供重要的信息，使决策者能为路面的维修、养护及翻修等作出优化决策。另一方面，路面平整度的检测能准确地提供路面施工质量的信息，为路面施工提供一个质量评定的客观指标。

7. 除了三坐标还有没有什么仪器可以检测平面度的

前携顷面那位说的有些问题。。。
1，最常用的方法是产品放置在平板上用千分表打表检测；
2，平晶检测的精度很高，而不是不高，但局限性很大。。。。如果零件表面粗糙度不够，没法用平晶去测，而且平晶扒敬尺寸有限，无法反映大表面的平面度春隐慎
3，大尺寸平面度可以使用水平仪或激光水平仪

8. 平晶能检测非镜面的物质吗

能检测。平面信衫郑平晶由玻璃或水晶制成塌森，用来检查光整镜面的平面度、用来检测非镜面的物质。平晶平面度检测是一种通过光学方法滑颂来检测晶体表面平整度的技术。

9. 眶耳平面属于测量平面吗

属于测量平面的。

眶耳平面：由眶下缘最低点到外耳孔上缘连成的平面称眶耳平面。当人端坐、头直立时，此平面与水平面平行。此平面可用作牙列、咬合及牙列相对运动时的对照基准平面，是口腔医学的重要参考平面。眶耳平面在人坐正，头直立时，与地面平行。

测量平面方法

平面度，是属于形位公差中的一种，指物体表面具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。在传统的检测方法中，平面度的测量通常有：塞规／塞尺测量法、液平面法、激光平面干涉仪测量法（平晶干涉法）、水平仪／数字水平仪测量法、以及打表测量法。

塞尺测量法，只需一套可随身携带的塞尺就可随时随地进行平面度的粗测。目前很多工厂仍使用该方法进行检测。由于其精度不高，常规最薄塞尺为10um，检测效率较低，结果不够全面，只能检测零件边缘。

液平面法，基于连通器工作原理，适合测量连续或不连续的大平面的平面度，但测量时间长，且对温度敏感，仅适用于测量精度较低的平面。激光平面干涉仪测量法，最典型的用法是平晶干涉法。但主要于测量光洁的小平面的测量，如千分头测量面，量规的工作面，光学透镜。

水平仪测量法，广泛用于工件表面的直线度和平面度测量。测量精度高、稳定性好、体积小、携带方便。但是用该方法测量时需要反复挪动仪器位置，记录各测点的数据，费时、费力，调整时间长，数据处理程序繁琐。

打表测量法，典型应用为平板测微仪及三坐标仪，其中优以三坐标仪为应用最广泛。测量时指示器在待测样品上移动，按选定的布点测取各测量点相对于测量基准的数据，再经过数据处理评定出平面度误差。但其效率较低，通常一个样品需要几分钟，离15ppm的期望相差甚远。

10. 平面度怎样测量

平面度测量的常用方法有如下几种：

1、平晶干涉法：用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。主要用于测量小平面，如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差。

平面是由直线组成的，因此直线度测量中直尺法、光学准直法、光学自准直法、重力法等也适用于测量平面度误差。测量平面度时，先测出若干截面的直线度。

再把各测点的量值按平面度公差带定义(见形位公差)利用图解法或计算法进行数据处理即可得出平面度误差。也有利用光波干涉法和平板涂色法测量平面误差的。

2、打表测量法：打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。打表测量法按评定基准面分为三点法和对角线法：三点法是用被测实际表面上相距最远的三点所决定的理想平面作为评定基准面。

实测时先将被测实际表面上相距最远的三点调整到与标准平板等高；对角线法实测时先将实际表面上的四个角点按对角线调整到两两等高。然后用测微计进行测量，测微计在整个实际表面上测得的最大变动量即为该实际表面的平面度误差。

3、液平面法：液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由 “连通罐”内的液面构成，然后用传感器进行测量。此法主要用于测量大平面的平面度误差。

4、光束平面法：光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量，选择实际表面上相距最远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。

5、激光平面度测量仪：激光平面度测量仪用于测量大型平面的平面度误差平面度测量现场。

6、利用数据采集仪连接百分表测量平面度误差的方法。

测量仪器：偏摆仪、百分表、数据采集仪。

测量原理：数据采集仪可从百分表中实时读取数据，并进行平面度误差的计算与分析，平面度误差计算工式已嵌入我们的数据采集仪软件中，完全不需要人工去计算繁琐的数据，可以大大提高测量的准确率。

(10)平晶检测方法扩展阅读：

平面度与公差原则关系 ：

两大公差原则 ：独立原则和包容原则

一、独立原则：尺寸公差与形状公差之间是独立的

二、包容原则：尺寸公差与形状公差之间是有关联的

平面度误差的评定方法有：三远点法、对角线法、最小二乘法和最小区域法等四种。

1、三远点法：是以通过实际被测表面上相距最远的三点所组成的平面作为评定基准面，以平行于此基准面，且具有最小距离的两包容平面间的距离作为平面度误差值。

2、对角线法：是以通过实际被测表面上的一条对角线，且平行于另一条对角线所作的评定基准面，以平行于此基准面且具有最小距离的两包容平面间的距离作为平面度误差值。

3、最小二乘法：是以实际被测表面的最小二乘平面作为评定基准面，以平行于最小二乘平面，且具有最小距离的两包容平面间的距离作为平面度误差值。最小二乘平面是使实际被测表面上各点与该平面的距离的平方和为最小的平面。此法计算较为复杂，一般均需计算机处理。

4、最小区域法：是以包容实际被测表面的最小包容区域的宽度作为平面度误差值，是符合平面度误差定义的评定方法。