半导体中测量膜厚的方法

Ⅰ 薄膜测厚仪的测量原理是什么精度可以达到多少

在被测量的薄膜上垂直照射可视光，光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层之间的界面反射，薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。利用白光干涉测量法的原理，它用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据，由于反射率n和k随薄膜的不同而变化，根据这一特性进行曲线拟合从而求得膜厚。不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述，从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。
大成精密设备薄膜测厚仪采用非放射性先进测量技术，是测量隔膜厚度的理想解决方案。

Ⅱ 硅片上镀有约30nm厚的薄膜,用什么方法可以测试薄膜的厚度

可以把试样玻璃一起镀，之后根据玻璃的
透光度
判断厚度。一般这种镀都是
真空蒸镀
。还有其他办法测量没有时间细说。

Ⅲ 晶振怎么测量薄膜厚度

晶振片的谐振频率随着表面沉积膜层的厚度增加而下降，晶控仪根据这个频率变化和预先设定的材料参数，推算出膜层厚度。

Ⅳ 如何测量薄膜的厚度

薄膜厚度是否均匀一致是检测薄膜各项性能的基础。很显然，倘若一批单层薄膜厚度不均匀，不但影响到薄膜各处的拉伸强度、阻隔性等，更会影响薄膜的后续加工。对于复合薄膜，厚度的均匀性更加重要。薄膜的厚度测量是薄膜制造业的基础检测项目之一。
目前测量薄膜的厚度的方法有在线测厚和非在线测厚
在线测厚较为常见的在线测厚技术有β射线技术，X射线技术和近红外技术。
β射线技术是最先应用于在线测厚技术上的射线技术。在上世纪60年代就已经广泛用于超薄薄膜的在线厚度测量了。它对于测量物没有要求，但β传感器对温度和大气压的变化、以及薄膜上下波动敏感，设备对于辐射保护装置要求很高，而且信号源更换费用昂贵，Pm147源可以用5-6年，Kr85源可用10年，更换费用均在6000美元左右。
X射线技术
这种技术极少为塑料薄膜生产线所采用。X光管寿命短，更换费用昂贵，一般可用2-3年，更换费用在5000美元左右，而且不适用于测量多种元素构成的聚合物，信号源发射性强。X射线技术常用于钢板等单一元素的测量。
近红外技术
近红外技术在在线测厚领域的应用曾受到条纹干涉现象的影响，但现在近红外技术已经突破了条纹干涉现象对于超薄薄膜厚度测量的限制，完全可以进行多层薄膜总厚度的测量，并且由于红外技术自身的特点，还可以在测量复合薄膜总厚度的同时给出每一层材料的厚度。近红外技术可用于双向拉伸薄膜、流延膜和多层共挤薄膜，信号源无放射性，设备维护难度相对较低。
非在线测厚
非在线测厚技术主要有一触式测量法和非接触式测量法两类，接触式测量法主要是机械测量法，非接触式测量法包括光学测量法，电涡流测量法、超声波测量法等。由于非在线测厚仪设备价格便宜、体积小等原因，应用领域广阔。
涡流测厚仪和磁性测厚仪
涡流测厚仪和磁性测厚仪一般都是小型便携式设备，分别利用了电涡流原理和电磁感应原理。专用于各种特定涂层厚度的测量，用于测量薄膜、纸张的厚度时有出现误差的可能。
超声波厚度仪
超声波厚度仪也多是小型便携带设备，利用超声波反射原理，可测金属、塑料、陶瓷、玻璃及其它任何超声波良导体的厚度。可在高温下工作，这是很多其它类型的测厚仪所不具备的，但对检测试样的种类具有选择性。
光学测厚仪
从测量原理上来说光学测厚仪可达到极高的测试精度，但是这类测厚仪在使用及维护上要求极高；必须远离振源；严格防尘；专业操作及维护等。使用范围较窄，仅适用于复合层数较少的复合膜。
机械测厚仪
机械测厚仪可以分为点接触式和面接触式两类，是一种接触式测厚方法，它与非接触式测量方法有着本质的区别——能够在进行厚度测量前给试样测量表面施加一定的压力（点接触力或面接触力），这样可以避免在使用非接触式测厚仪测量那些具有一定压缩力、表面高低不平的材料时可能出现数据波动较大的现象。
所以具体要选择哪一类测厚仪设备还需根据软包装材料的种类，厂家对厚度均匀性的要求、以及设备的测试范围等因素而定。
本答案源于PP论坛

Ⅳ 测透明薄膜的厚度的测量方案

光学薄膜测厚仪 (SpectraThick Series) 的核心技术介绍和原理说明

SpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量，无需样品的前处理，软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer，glass等substrates上形成的氧化膜，氮化膜，Photo-resist等非金属薄膜厚度的仪器。

测量原理如下：在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光，这时光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层 (wafer或glass)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。SpectraThick series就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。

仪器的光源使用Tungsten
Lamp，波长范围是400 nm ~ 800 nm。从ST2000到ST7000使用这种原理，测量面积的直径大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作为K-MAC (株) 最主要的产品之一，有image processs功能，是超越一般薄膜厚度测量仪器极限的新概念上的厚度测量仪器。测量面积的最小直径为0.2μm，远超过一般厚度测量仪器的测量极限 (4μm)。顺次测量数十个点才能得到的厚度地图 (Thickness Map) 也可一次测量得到，使速度和精确度都大大提高。这一技术已经申请专利。

韩国K-MAC (株)
SpectraThick series的又一优点是一般仪器无法测量的粗糙表面 (例如铁板，铜板) 上形成的薄膜厚度也可以测量。这是称为VisualThick OS的新概念上的测量原理。除测量薄膜厚度外还有测量透射率，玻璃上形成的ITO薄膜的表面电阻，接触角度 (Contact Angle) 等的功能，目前国内外知名的半导体行业及光刻胶等相关行业的很多企业都选择K-MAC膜厚仪，广州市金都恩科精密仪器有限公司是中国区总代理，进入企业网站可以详细了解。

产品说明

本仪器是把UV-Vis光照在测量对象上，利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。

这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场，特别在半导体及有关Display工作中作为

In-Line monitoring 仪器使用。

产品特性

1) 因为是利用光的方式，所以是非接触式，非破坏式，不会影响实验样品。

2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。

3) 测量迅速正确，且不必为测量而破坏或加工实验样品。

4) 可测量 3层以内的多层膜。

5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。

6) 产品款式多样，而且也可以根据顾客的要求设计产品。

7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage
size 3“ )

8)Table Top型, 适用于大学,研究室等

Ⅵ 薄膜测厚仪原理是什么如何使用

不要管楼上的说了那么多废话，简单的说吸虫器就是在样本调查时用的抓捕昆虫的工具，最简单的吸虫器就是一个带有管子的塑料罐。

Ⅶ 薄膜在线测厚仪的有哪些测量原理

薄膜在线测厚仪的测量原理有4种：射线技术，X射线技术，近红外技术和光学透过率技术
2.1 射线技术
射线技术是最先应用于在线测厚技术上的射线技术，在上世纪60年代就已经广泛用于超薄薄膜的在线厚度测量了。它对于测量物没有要求，但传感器对温度和大气压的变化、以及薄膜上下波动敏感，设备对于辐射保护装置要求很高，而且信号源更换费用昂贵，Pm147源可用5-6年，Kr85源可用10年，更换费用均在6000美元左右。

2.2 X射线技术
这种技术极少为塑料薄膜生产线所采用。X光管寿命短，更换费用昂贵，一般可用2-3年，更换费用在5000美元左右，而且不适用于测量由多种元素构成的聚合物，信号源放射性强。X射线技术常用于钢板等单一元素的测量。

2.3 近红外技术
近红外技术在在线测厚领域的应用曾受到条纹干涉现象的影响，但现在近红外技术已经突破了条纹干涉现象对于超薄薄膜厚度测量的限制，完全可以进行多层薄膜总厚度的测量，并且由于红外技术自身的特点，还可以在测量复合薄膜总厚度的同时给出每一层材料的厚度。近红外技术可用于双向拉伸薄膜、流延膜和多层共挤薄膜，信 号源无放射性，设备维护难度相对较低。

2.4光学涂层技术
对于透光的材料，材料一定的情况下，透过率和测量的厚度成一一对应关系，所有通过测量材料的光学透过率（光密度）来达到测量材料厚度的目的，在卷绕式镀膜行业，如镀铝膜，各种包装膜，通过在线监测薄膜的透过率来在线监测生产的品质，已经是一种非常成熟的方案。如深圳市林上科技的LS152真空镀膜在线测厚仪就是利用光学透过率的原理来实现非接触式的在线测厚，该仪器支持RS485通讯接口和MODBUS通讯协议，可以与镀膜机上的PLC进行通讯实现闭环控制。

Ⅷ iso 2808测量膜厚有几种方法

湿膜厚度：方法1A-齿轮检查量规；方法1B-车轮量规；方法1C-度盘式指示器；方法2-通过质量的差异。干膜厚度：机械法，电磁法，涡流法，破坏法，贝它/X射线法

Ⅸ 怎样测量薄膜厚度

可以用高精度的涂层测厚仪PD-CT2，下面垫一块铁基体，薄膜太软了不行，可以用平头有的测厚规来测，但是精度不高