光刻胶厚度测量使用方法

Ⅰ 薄膜测厚仪的测量原理是什么精度可以达到多少

在被测量的薄膜上垂直照射可视光，光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层之间的界面反射，薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。利用白光干涉测量法的原理，它用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据，由于反射率n和k随薄膜的不同而变化，根据这一特性进行曲线拟合从而求得膜厚。不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述，从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。
大成精密设备薄膜测厚仪采用非放射性先进测量技术，是测量隔膜厚度的理想解决方案。

Ⅱ 怎样测量薄膜厚度

可以用高精度的涂层测厚仪PD-CT2，下面垫一块铁基体，薄膜太软了不行，可以用平头有的测厚规来测，但是精度不高