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單晶硅生長常用的方法有

發布時間:2022-10-12 00:20:16

A. 單晶爐中單晶硅棒時如何生長的

首先,把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝,通過石墨加熱器產生的高溫將其熔化;然後,對熔化的硅液稍做降溫,使之產生一定的過冷度,再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體(稱作籽晶)插入熔體表面,待籽晶與熔體熔和後,慢慢向上拉籽晶,晶體便會在籽晶下端生長;接著,控制籽晶生長出一段長為100m 單晶硅生長爐
m左右、直徑為3~5mm的細頸,用於消除高溫溶液對籽晶的強烈熱沖擊而產生的原子排列的位錯,這個過程就是引晶;隨後,放大晶體直徑到工藝要求的大小,一般為75~300mm,這個過程稱為放肩;接著,突然提高拉速進行轉肩操作,使肩部近似直角;然後,進入等徑工藝,通過控制熱場溫度和晶體提升速度,生長出一定直徑規格大小的單晶柱體;最後,待大部分硅溶液都已經完成結晶時,再將晶體逐漸縮小而形成一個尾形錐體,稱為收尾工藝;這樣一個單晶拉制過程就基本完成,進行一定的保溫冷卻後就可以取出。 直拉法,也叫切克勞斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克勞斯基建立的一種晶體生長方法,用直拉法生長單晶的設備和工藝比較簡單,容易實現自動控制,生產效率高,易於制備大直徑單晶,容易控制單晶中雜質濃度,可以制備低電阻率單晶。據統計,世界上硅單晶的產量中70%~80%是用直拉法生產的

B. 單晶硅的生長方法有哪些,試簡述

非晶硅是一種直接能帶半導體,它的結構內部有許多所謂的「懸鍵」,也就是沒有和周圍的硅原子成鍵的電子,這些電子在電場作用下就可以產生電流,並不需要聲子的幫助,因而非晶硅可以做得很薄,還有製作成本低的優點.

C. 單晶的單晶制備方法

單晶生長制備方法大致可以分為氣相生長、溶液生長、水熱生長、熔鹽法、熔體法。最常見的技術有提拉法、坩堝下降法、區熔法、定向凝固法等;
目前除了眾多的實際工程應用方法外,藉助於計算機和數值計算方法的發展,也誕生了不同的晶體生長數值模擬方法。特別是生產前期的分析和優化大直徑單晶時 ,數值計算尤為重要。
一、揮發法
原理:依靠溶液的不斷揮發,使溶液由不飽和達到飽和過飽和狀態 。
條件:固體能溶解於較易揮發的有機溶劑理論上,所有溶劑都可以,但一般選擇60~120℃ 。
注意:不同溶劑可能培養出的單晶結構不同方法:將固體溶解於所選有機溶劑,有時可採用加熱的辦法使固體完全溶解,冷卻至室溫或者再加溶劑使之不飽和,過濾,封口,靜置培養 。
二、擴散法
原理:利用二種完全互溶的沸點相差較大的有機溶劑。固體易溶於高沸點的溶劑,難溶或不溶於低沸點溶劑。在密封容器中,使低沸點溶劑揮發進入高沸點溶劑中,降低固體的溶解度,從而析出晶核,生長成單晶。液體等。一般選難揮發的溶劑,如DMF,DMSO,甘油甚至離子 。
條件:固體在難揮發的溶劑中溶解度較大或者很大,在易揮發溶劑中不溶或難溶。經驗:固體在難揮發溶劑中溶解度越大越好。培養時,固體在高沸點溶劑中必須達到飽和或接近過飽和 。
方法:將固體加熱溶解於高沸點溶劑,接近飽和,放置於密封容器中,密封容器中放入易揮發溶劑,密封好,靜置培養 。
三、溫差法
原理:利用固體在某一有機溶劑中的溶解度,隨溫度的變化,有很大的變化,使其在高溫下達到飽和或接近飽和,然後緩慢冷卻,析出晶核,生長成單晶。一般,水,DMF,DMSO,尤其是離子液體適用此方法。條件:溶解度隨溫度變化比較大。經驗:高溫中溶解度越大越好,完全溶解。推廣:建議大家考慮使用離子液體做溶劑,尤其是對多核或者難溶性的配合物 。
四、接觸法
原理:如果配合物極易由二種或二種以上的物種合成,選擇性高且所形成的配合物很難找到溶劑溶解,則可使原料緩慢接觸,在接觸處形成晶核,再長大形成單晶。一般無機合成,快反應使用此方法 。
方法:1.用U形管,可採用瓊脂降低離子擴散速度。2.用直管,可做成兩頭粗中間細。3.用緩慢滴加法或稀釋溶液法(對反應不很快的體系可採用)4.緩慢升溫度(對溫度有要求的體系適用)經驗:原料的濃度盡可能的降低,可以人為的設定濃度或比例。0.1g~0.5g的溶質量即可 。
五、高壓釜法
原理:利用水熱或溶劑熱,在高溫高壓下,是體系經過一個析出晶核,生長成單晶的過程,因高溫高壓條件下,可發生許多不可預料的反應。方法:將原料按組合比例放入高壓釜中,選擇好溶劑,利用溶劑的沸點選擇體系的溫度,高壓釜密封好後放入烘箱中,調好溫度,反應1~4小時均可。然後,關閉烘箱,冷至室溫,打開反應釜,觀察情況按如下過程處理:1.沒有反應——重新組合比例,調節條件,包括換溶劑,調pH值,加入新組分等。2.反應但全是粉末,且粉末什麼都不溶解,首先從粉末中挑選單晶或晶體,若不成,A:改變條件,換配體或加入新的鹽,如季銨鹽,羧酸鹽等;B:破壞性實驗,設法使其反應變成新物質。3.部分固體,部分在溶液中:首先通過顏色或條件變化推斷兩部分的大致組分,是否相同組成,固體挑單晶,溶液揮發培養單晶,若組成不同固體按1或2的方法處理。4.全部為溶液——旋蒸得到固體,將固體提純,將主要組成純化,再根據特點接上述四種單晶培養方法培養單晶 。

D. 目前商用半導體單晶硅主要的晶體生長方法是什麼

目前商用半導體單晶硅主要以真空電解和真空精煉來拉出晶圓柱,再反覆精煉,使晶柱累積成長。

E. 制備單晶的關鍵是什麼,如何制備單晶

所謂單晶,即結晶體內部的微粒在三維空間呈有規律地、周期性地排列,或者說晶體的整體在三維方向上由同一空間格子構成,整個晶體中質點在空間的排列為長程有序。單晶整個晶格是連續的,具有重要的工業應用。由於熵效應導致了固體微觀結構的不理想,例如雜質,不均勻應變和晶體缺陷,有一定大小的理想單晶在自然界中是極為罕見的,而且也很難在實驗室中生產。另一方面,在自然界中,不理想的單晶可以非常巨大,例如已知一些礦物,如綠寶石,石膏,長石形成的晶體可達數米。

單晶生長制備方法大致可以分為氣相生長、溶液生長、水熱生長、熔鹽法、熔體法。最常見的技術有提拉法、坩堝下降法、區熔法、定向凝固法等;
目前除了眾多的實際工程應用方法外,藉助於計算機和數值計算方法的發展,也誕生了不同的晶體生長數值模擬方法。特別是生產前期的分析和優化大直徑單晶時,數值計算尤為重要。
一、揮發法
原理:依靠溶液的不斷揮發,使溶液由不飽和達到飽和過飽和狀態 。
條件:固體能溶解於較易揮發的有機溶劑理論上,所有溶劑都可以,但一般選擇60~120℃ 。
注意:不同溶劑可能培養出的單晶結構不同方法:將固體溶解於所選有機溶劑,有時可採用加熱的辦法使固體完全溶解,冷卻至室溫或者再加溶劑使之不飽和,過濾,封口,靜置培養 。
二、擴散法
原理:利用二種完全互溶的沸點相差較大的有機溶劑。固體易溶於高沸點的溶劑,難溶或不溶於低沸點溶劑。

F. 單晶硅的生產工藝流程

摘要 直拉法和區熔法是制備單晶硅最常用的方法

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