鍍膜機台的使用方法

⑴ 真空鍍膜機，如何操作！原理是什麼

原理大概就是通過機械泵，羅茨泵，把爐子內空氣抽空讓他形成真空。然後通過電子束加熱膜料，讓他蒸發，貼附在爐頂勻速旋轉的傘架上的貨件上面。 忘的差不多了。

⑵ 誰能教教我玻璃鍍膜機的使用步驟我想了解下，機器我還沒買呢。

這個機器有不同型號的，使用操作步驟也有差別，不過知道了該機器的工作原理，就比較好操作了。玻璃鍍膜機，在架體上部固設有作為動力源的電機減速器，包括導軌、滾珠絲杠、滑座、滾輪及螺母，滾珠絲杠一端與電機減速器相連接，另一端插在架體底部的軸承座內，滑座通過螺母連接在滾珠絲杠上，滑座上設有滾輪，導軌固裝在架體上，滾輪配合連接在導軌上，滑座上設有安裝底座，其內部開有通孔，帶有滾輪的滾輪支座插在安裝底座通孔的一端，調整螺母螺紋連接在安裝底座通孔的另一端，在滾輪支座與調整螺母之間設有彈性體，保險頂絲穿過調整螺母插在安裝底座的通孔內。本實用新型採用滾珠絲杠傳動，使玻璃在鍍膜時傳動平穩，保證了滾珠絲杠的傳動平穩，使玻璃的鍍膜沒有衍涉波紋。

⑶ 用真空鍍膜機鍍鋁的操作流程，詳細點。小弟在這謝過了

1.打開空壓機、工藝氣體、電源空開
2。分子泵加速（擴散泵升溫）
3。抽真空
4。到本地真空後
5。氬離子轟擊
6。主弧轟擊
7。鍍鋁膜
8。降溫
9。放氣
10。出產品，OK

回答比較模糊，首先你的問題就比較模糊，哈哈

⑷ 衡陽真空鍍膜機使用方法

高真空鍍膜機，塗布機是應用最廣泛生產的真空設備。其組成和相關組件：機械泵，增壓泵，油擴散泵，冷凝泵，真空測量系統
下面我詳細的組成和各部分的工作原理。

真空體 - 根據真空室的大小不同的要求，在真空室

加工產品是不一樣的，當前的應用程序有一個直徑達1.3M，將0.9M，1.5M，1.8M，等等室由不銹鋼製成的材料，要求不生銹，固體等，連接在真空室中的各個部分都有一個閥門，用於連接抽吸泵。

兩個輔助泵系統

該排氣系統採用了「擴散泵機械泵+ + + +羅茨泵低溫冷阱+ polycold」組成

排氣過程：第一機械泵的真空室抽真空至低於約2.0 * 10-2PA低真空，真空擴散泵提供了前提的後繼者，之後當擴散泵真空室中，並與機械泵的油擴散泵串聯連接構成的以這樣的方式的吸入動作。

排氣系統是鍍膜機真空系統的重要組成部分，主要由機械泵，增壓泵（主要介紹了羅茨泵），三大油擴散泵。

機械泵：也稱為泵之前，機械泵是最廣泛使用的一種低真空泵，這是為了保持油密封和機械方法依賴於不斷變化的泵吸入空氣的體積該腔室，氣體在容器的體積被連續地泵入，以獲得真空膨脹。

有各種機械泵，常用的滑閥式（這主要用於大型設備），往復活塞式，固定葉片和旋轉葉片（這是目前使用最廣泛的，這一點文中介紹了）四種類型。

機械泵通常用於抽吸乾燥的空氣，但不抽氧含量過高，易爆及腐蝕性氣體，機械泵一般用於抽除氣體永久性的，但水汽沒有很好的效果，它沒有泵水蒸汽。旋片泵組件中的定子，轉子，彈片等方面發揮重要作用，但在不同的定子主軸的轉子和定子的內部，像兩個內切圓，該轉子配備有兩個時隙彈片，彈片在中間兩個彈簧載入的，確保該彈片牢牢固定到定子的內壁。

它起著兩片交替的兩個方面的作用，從吸入到進氣口的氣體，一方面，另一方面又被吸進的壓縮氣體，該氣體排出泵。每個轉子旋轉一周，完成了兩個吸泵和兩個排氣。當泵連續地沿順時針方向轉動時，旋轉葉片泵通過氣體進氣口，排氣口和從排出泵恆定，實現了萃取容器的目的連續地繪制。為了提高最終的真空泵，定子浸入油中泵內，使內和整個空間的間隙保持足夠的有害油填滿間隙，因此潤滑油在一方面起到一定的作用，和另外一方面，有紛爭，封堵縫隙，密封空間的有害作用防止反氣體分子通過各種渠道空間流向低壓。

機械泵是從大氣中工作，其主要參數為極限真空，抽速，這是機械泵的重要依據設計和選擇。單級泵可泵送至容器從大氣到1.0×10-1PA的極限真空雙級機械泵容器可以從大氣中6.7 * 10-2帕，或什至更高泵送。

泵送率，指的是在額定轉速下旋轉葉片泵操作，即每單位時間排出的氣體的體積，可以使用下列公式計算：

某物= 2nVs = 2nfsL

fs的上述吸入室的截面積，L為諧振腔長度，該系數表示每轉子排氣過程的轉速的兩倍的顳端中，Vs表示當轉子處於水平位置時，在吸入端，腔體空間和時間的最大體積，速度為n。

機械泵的排氣效果還與電機的轉速和皮帶的松緊度有關系，當電機處於相對寬松的皮帶，電機的速度很慢，機械泵排氣的效果也變差，所以要定期保養，檢查，機械泵密封油也需要經常點檢，油太小，不到密封效果，泵漏油太多，吸孔插頭，而不是吸進氣和排氣，一般，油位可根據0.5厘米上線了。

增壓泵稱為根：這是一對同步雙裂葉或機械泵轉子高速旋轉，因為它的工作原理相同，與羅茨鼓風機，使他們能夠所謂羅茨真空泵，在100-1帕更大抽速的范圍內泵壓，它彌補了在這個范圍內的機械泵的排氣能力不足的缺陷，這種泵不能從大氣開始工作，還不能直接排放大氣，它的作用僅僅是增加了進氣口和口之間，其餘的排氣壓力需要機械泵來完成的，所以它必須伴隨著一個機械泵作為前級泵。

機械泵在使用時，一定要注意以下幾個問題：

1，機械泵被安裝在一個干凈，乾燥的地方。

2，泵本身也可以保持清潔和乾燥，油泵具有密封和潤滑，所以要加入的量根據需要。

3，泵油要定期更換，更換時，為期三至六個月之前，首先放油，以取代至少一次。

4，按照說明連接電線。

5，機械泵停止第一關閉進氣閥前的工作，然後通過進氣口打開閥和斷電，在大氣流入泵。

6，在操作期間，泵，油的溫度不得超過75攝氏度，否則由於油的粘度太小，造成密封不嚴。

7，皮帶張力應做不規則的機械泵，電機的轉速，羅茨泵電機轉速和密封的密封件。

油擴散泵：極度機械真空泵只有10-2帕，當它達到10-1 Pa時，實際抽速只是理論上的，1/10，如果你想獲得高真空必須的，油擴散泵。

由於第一油擴散泵是用來獲得高真空的泵，它由於成本便宜，維修方便，用途廣泛，因此本文將重點關注。

油擴散泵適用壓力范圍為10-1 -10-7帕果帕果，它是利用廢氣擴散現象，它具有結構簡單，操作方便，抽氣速率（最高可達到105升/秒）等。油擴散泵的泵殼體，噴嘴，導流筒和一個加熱器，它主要是加入油擴散泵（日本型號為D-704＃），根據噴嘴的數目可分為單級泵和多級泵。

底部擴散泵油擴散泵的存儲，所述進氣的上部，右側旁的出口的下部，所述出口時，由預壓機械泵提供的工作機械泵作為前級泵。

當擴散泵油被加熱爐中，通過設置預，預壓泵作為一個機械泵所產生的蒸汽的壓力油。當油是通過噴霧產生向下的導流管傘噴嘴加熱爐擴散泵油蒸氣。由於噴嘴那裡1-10-1 Pa的真空機械泵來提供，因此，油蒸汽可以噴灑一段距離，以形成出口射流的運動方向。最後，通過冷卻水的噴射泵打到壁冷凝成液體迴流到蒸發器中，即，通過油的蒸發 - 噴 - 冷凝循環重復來實現泵送。

從入口進入泵內的氣體分子，一旦落入蒸汽流量，向下運動將獲得新的動力，飛到因為高噴射速度（約200米/秒）下，高蒸氣密度和擴散泵油具有較高分子量（300-500）可有效地把氣體分子，在噴射，長期滯留的氣體分子不能和的界面兩側的介面射流，有很大的泵送氣體的濃度差，這是因為該濃度差是恆定的排氣擴散到噴流的物理介面，被帶到退出，然後拉出在機械泵的出口。

擴散泵油的蒸氣壓是確定最終的真空泵的一個重要因素，所以盡量使用泵油的飽和蒸氣壓，其化學性質更好。

擴散泵不能用於用盡，為40千帕的泵出口壓力最大的一般要求。擴散泵送速度是第一級噴嘴和所述環形區域的泵吸入口的直徑尺寸之間確定，泵送速度不是恆定值，但與入口和壓力變化，當10中的壓力 - 210 - 3帕時，擴散泵抽氣速度是最快的，當壓力低於5×10-4帕，擴散泵抽速極小，幾乎沒有泵送能力（在這種情況下，在進氣高壓口，空氣密度由於大的，高速的蒸汽噴流形成為不阻塞空氣反擴散時，泵送速度降低）。

擴散泵被安裝前清洗之前，在這之後，可以在之前被載入到的油，加熱油的擴散，必須首先真空泵，擴散泵油必須首先被冷卻到6070關機攝氏度，它可以關閉抽水前水平，最後收冷卻水。

由於油擴散泵是無法杜絕有機會返回到石油，那麼就沒有辦法保證100％純精密產品，尤其是在半導體行業，因此有是一種「高真空冷凝泵+低真空機械泵排氣系統」，它由非油真空系統，包括不僅是高凝泵的排氣效率，並有效地保證潔凈真空室，以確保產品質量（避免產品的污染，提高膜與基板的重點）之間的連接，但維護成本是非常高且價格昂貴，因此不存在滲透廣泛擴散泵油。

我在工作的過程中，有幸通過使用冷凝泵排氣系統的組成，所以在此解釋。

冷冷凝泵：它是在為了實現抽吸泵使用的低溫冷凝的氣體分子在表面上，是最終的真空來獲得抽吸泵的最高最大泵送速度。

冷凝泵的工作原理：主要作用是冷凝的氣體的冷表面，感冒和低物理吸附的作用。

低溫冷凝：根據各種氣體的特性，使用液體氦或氦冷凍循環的冷卻。

冷阱：該非冷凝氣體的冷凝氣體俘獲現象，通常是二氧化碳，水蒸氣，氮氣，壓縮空氣和其他氣體形成第一結霜，形成在冷表面上的吸附層，從而實現吸附其它氣體的目的，低溫泵送除了混合氣體提取比單個效果更好的效果的原因。

低溫吸附：氣體吸附裝置的冷表面的影響，在吸附劑與氣體分子之間的強相互作用，蒸氣壓可以比在冷凝表面的蒸氣壓的飽和溫度來實現也低。吸附劑通常是活性炭。

泵送速率和影響冷凝泵的抽速和冷凝泵冷凝表面面積的大小關系，在數據顯示抽下？11.6升/秒的冷凝表面積單位的速率。平方厘米，冷凝泵可以抽至10-8帕;活性炭吸附幾何結構和活性炭，粘合劑材料和粘接工藝的粒子結構的位置，而且還另外粘物表面有對泵送速度有很大的影響。其次，關鍵在於製冷量要足夠大。

真空計：真空計是真空鍍膜機，這是檢測的真空鍍膜機度的重要手段的重要組成部分。根據其工作原理，真空計，可分為絕對值和相對真空計真空計，真空計可以直接測量絕對壓力水平，相對真空計真空的唯一的間接測量。

本文重點公共塗層機上的真空測量儀，以下列以上：

電阻真空計（也稱拉尼皮膚真空計）：

它主要由電熱絲，外殼和支架的，主要是基於低壓力，熱導率和氣體壓力成比例的工作方式。測量是在連接到真空系統中，使用由兩根導線和連接到所述托架上的測量電路的導線的熱電阻溫度系數導線的開口。當壓力減小，因為氣體的熱傳導的熱損失，降低了，所以當熱絲加熱電流穩定時的熱燈絲溫度升高時，金屬絲的熱阻力增大，測量的大小的電阻值熱絲來間接測量壓力，存在以下關系：

這是一個小電阻真空計的作品，真空表測量范圍為:100-10-1帕，目前使用的型號WP- 02

磁控放電真空計：

它是如何工作的：當放電開始，因為電子向陽極的自由流動，在正交電磁場的空間中，電子的軌跡不是直線而是螺旋前進，並且由於陽極為箱形，它不一定是在第一次打擊的電子的陽極，但是在陽極和陰極的排斥反應的相對側的和復雜的回報。因此，它可以被重復標記陽極。由於電子的距離大大延長，從而增加分子的碰撞電離，以使得較低的壓力（10-4 Pa或更低）保持放電（也叫彭寧放電）。

模型是目前比較PKR251，GI-PARY

放電真空計：在玻璃管中密封的兩個金屬電極，再加上高壓直流幾千伏在一定的壓力范圍內可引起（ 1 * 2 * 10-310托）的自持放電通過放電顏色以確定它們的真空

度真空計迄今已很少使用，因為它的錯誤，容易損壞，而且壽命不長。

第三，蒸發系統

蒸發系統主要是指成膜裝置的一部分，膜包衣機意味著很多，有電阻加熱，電子槍蒸發，磁控濺射，射頻濺射，離子鍍等手段，我會電阻加熱和電子槍蒸鍍用兩種方式來介紹，因為我申請兩種方法比較多。根據其結構

電阻蒸發和工作原理是迄今為止最廣泛使用和最廣泛的蒸發施加最長蒸發。它的工作方式是，使得鎢膜的船形，然後安裝在兩個電極，鎢舟在中央加草葯的中間，然後慢慢向電極通電時，電流通過鎢舟，鎢舟通電發熱，這些低電壓，大電流產生的鎢舟加熱熔融點，然後將熱傳導到該塗覆材料中，當高於該熱鎢舟熔點時的塗層材料，該材料的升華或蒸發，並且該方法由於操作方便，結構簡單，成本低，這是一個很大的設備的應用，但它蒸發出來的片子由於密度差，再加上大量的材料不能用這種方法來沉積因此具有一定的局限性。鎢舟蒸發塗層材料時，該材料的熔點必須低於鎢舟的熔點，否則就沒有辦法進行。

電子槍蒸發，是迄今為止的蒸發最大的應用，它可以蒸發任何種類的塗層材料製成，它的工作方式是：塗層材料被放置在坩堝內，在蒸發源製成燈絲形狀，採用專用的控制面板上，燈絲電流，高電壓的強度，燈絲材料是鎢時，將加熱的端部會發射電子，然後用一個磁場被聚集成一定形狀，並被拉入坩堝中，使電子束的形成，電子束是非常高的溫度下，塗層可通過電子束熔煉（某些材料的直接蒸餾）電鍍後融化的任何葯物，醫學，分子（或原子的草葯離子）成真空，然後在整個襯底上的直線運動，冷凝下來，之後生長以這種方式形成薄膜！最常用的，以產生電子束的偏轉角為270度，或者為電子式的電子線路電子槍或180度的電子束偏轉角的運行軌跡，對於c型電子槍的運行軌跡兩個C型。最大的優點

電子束蒸發是：電子束的光斑可調節，可拍攝多絲可以隱藏，以避免污染，可任意蒸發鍍膜材料，維修方便，蒸發速度可以任意控制材料分解，膜密度高。良好的機械強度。

濺射正離子轟擊與高速目標表面，動能傳遞通過，從而使目標分子（原子）有足夠的能量從靶表面逃逸，縮合形成的薄膜表面產品。

通過濺射鍍膜附著性，高純度的薄膜的方法，將濺射的材料可以是同時的各種不同的組件，但要求高的目標不能是相同的電子槍，以節約資源。

有當前應用最磁控濺射法，磁控濺射法指的是平行於陰極表面的電場強的應用中，在陰極靶表面附近的電子約束，提高了離子化效率。這是最簡單的一個，所以使用非常廣泛。

4，薄膜控制系統

目前使用更多的電影監測方法，分別是：視覺監控法，給出（極）值監視，晶體振盪監控，實時監控等。我介紹視覺監控，固定的（極端）的晶體振盪監測和三個監測。

也稱為直接視覺監控監測，是利用眼睛的監測，因為薄膜的生長過程中，會出現顏色變化，由於干涉現象，我們基於顏色變化，以控制膜的厚度，這樣有在路上的一些錯誤，所以不是很准確，需要依靠經驗。

值（極端）監測：主要用於反射（按類型）光學監控。至尊監控法：當薄膜厚度增加時，其反射率和透光率將從改變反射或透射跟著來當極端一點，你就可以知道塗層的光學厚度進行監控ND波長（入）一季度的整數倍。但是，錯誤是比較大的極端的方式，因為當在極端變化附近的反射率或透射率很慢，也就是ND的厚度增加了不少，R / T改變。反映在第八波長更敏感的位置。

設定點監測法：此法停止使用鍍四分之一波點是無法監視的波長位置，然後電腦在波長反射率（或透射率）計算時刻的總厚度是多少這被稱為停止塗料點。

晶體振盪監測：

晶體振盪器的工作原理：利用石英晶體頻率的原理是成反比其工作質量。當達到一定厚度時，振動頻率不完全是由於石英本身的特性，以便有厚度和頻率之間的線性關系，但有空間的良好石英監測薄膜厚度增加時，則必須使用一塊新的石英振盪器。

幾種監測方法各有優缺點，但通常鍍多層膜，光學監測將主要石英晶體振盪器作為輔助方法。

另外，考慮到一些塗裝工藝以及填充氣體流量控制或壓力控制儀表，它需要使用精密的光學感測閥和控制系統的需求。

在塗布過程中還需要轉向控制系統被放置在裡面的傘主軸軸承，然後再利用馬達驅動的軸承，所以轉動雨傘。然後PLC控制其旋轉速度。使用旋轉驅動器，用於計數電機，氣動開關板蓋葯辦法把光學感測方法

坩堝。

要加快排氣速度達到一定程度所需的真空室冷卻的真空，該真空腔室內部的空氣的冷凍至零下130攝氏度時，在真空室內部的水蒸汽和冷凍泵抽水。

主PLC自動控制的電氣控制部分，是進入一個預先設計的程序，與主電路的操作面板上的空駛處理器系統連接到PLC，當操作面板上按下當切換時，信息傳輸到中央處理器，然後由一個中央控制系統進行分析，並發出到執行和由分支完成動作的指令。

塗布機是一種多學科的設備，其中包括了當今最先進的機械和電氣工業技術，控制技術，電氣自動化，IT技術，製冷技術，微電路集成系統，高壓控制系統，機械技術，加工技術，光學技術，光學技術，氣動控制技術，光電感測技術，通信技術，真空技術，薄膜光學鍍膜技術等。

塗布機，可以說是一個新興的行業代表。

今天，塗布機已被廣泛使用，特別是在大范圍的系統鍍膜，通過多種它們施加到每個光學系統和光學儀器的薄膜，如數字的產生的相機，數碼攝像機，望遠鏡，投影儀，能量控制，光通信，顯示技術，干涉儀，衛星導彈，一個半導體激光器，MEMS，信息業，生產出激光，各種過濾器，工業照明，感測器，建築玻璃，汽車，裝飾品，硬幣，眼鏡等，塗布機一直與人類生活密切接觸。

塗布機進口成本通常達到3001000萬元，國產設備的成本目前大約有100萬，已經完全自動化的進口設備，整個生產過程由計算機自動完成，其先進的自動化程度是絕對優於世界上任何模型，由於國內真空技術，再加上技術的起步較晚是有限的，至今還採用手工操作模式下，一些廠商有進口設備的操作參考模式，半自動操作，可以實現模式，如：南塗布機成都，廣東騰塗布機，塗布機台灣龍翩，北儀真空，真空等沉陽傑在行業中的排名。

⑸ 真空鍍膜機的操作方法

真空離子鍍膜法

粗抽 精抽 升溫 貯入AR CH4 H2 N2 間冷 開爐

產品 TIN TICN TIC

⑹ 真空鍍膜機的操作程序

真空鍍膜機操作程序具體操作時請參照該設備說明書
和設備上儀表盤指針顯示及各旋鈕下的標注說明。
① 檢查真空鍍膜機各操作控制開關是否在關位置。
② 打開總電源開關，設備送電。
③ 低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲後，啟動升鍾罩閥，鍾罩升起。
④ 安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內。清理鍾罩內各部位，保證無任何雜質污物。
⑤ 落下鍾罩。
⑥ 啟動抽真空機械泵。
⑦ 開復合真空計電源（復合真空計型號：Fzh-1A)。
a.左旋鈕「1」順時針旋轉至指向2區段的加熱位置。
b.低真空表「2」內指針順時針移動，當指針移動至110mA時，左旋鈕1旋轉至指向2區段測量位置。
⑧ 當低真空表「2」內指針再次順時針移動至6.7Pa時，低壓閥推入。這時左旋鈕「1」旋轉至指向1區段測量位置。
⑨ 真空鍍膜機開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。
⑩ 低壓閥拉出。重復一次⑦動作程序：左下旋鈕「1」轉至指向2區段測量位置。低真空表「2」內指針順時針移動，當指針移動至6.7Pa時，開高壓閥（閥桿順時針旋轉）。
⑪ 等低真空表「2」內指針右移動至0.1Pa時，開規管燈絲開關。
a. 發射、零點測量鈕「9」旋轉至指向發射位置。
b. 左下旋鈕「1」旋轉至指向1區段測量位置。
⑫ 旋轉發射調節鈕「4」，使高壓真空表「5」內指針指向5。
⑬ 發射、零點、測量旋鈕「9」旋轉至指向零點位置。
⑭ 旋轉零點調節鈕「10」，讓高壓真空表「5」內指針指向0位置。
⑮ 發射、零點、測量旋鈕「9」旋轉至指向測量位置。
⑯ 旋轉標准調節鈕「3」，讓高壓真空表「5」內指針指向10。
⑰ 旋轉「倍加器」開關鈕「8」至指向10-12，當高壓真空表「5」內指針逆時針左移超過1時，再把「倍加器」開關旋鈕「8」旋轉至指向10-3。
⑱ 當高壓真空表「5」內指針逆時針移動超過6.7Pa時，開工件旋轉鈕開關，鍾罩內被鍍件PVDF膜轉動。
⑲ 開蒸發鈕開關。把電流分插塞插入蒸發電極分配孔內（設有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔）。
⑳ 右手旋轉右側調壓器手輪，慢慢旋轉升壓。
a. 從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況。
b. 當鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色，鋁絲開始熔化時，左手操作擋板鈕，移開鎢螺旋上方擋板。
c. 鋁絲全部熔化蒸發，擋板回原位。
d. 右手旋轉調壓器手輪回零位。第一次蒸鍍工作完成。
21. 如果再想蒸鍍一次（為了增加電極金屬層厚度）：把電流分插塞撥出插入另一個電極分配孔。重復⑳操作動作。
22. 關閉規管燈絲開關。關閉高壓閥（逆時針轉手柄）。關閉工件旋轉。關閉蒸發。旋轉機械泵鈕至指向擴散泵位置。
23. 低壓閥拉出。鍾罩充氣。充氣一段時間，當沒有氣.聲時，升鍾罩。
24. 鎢螺旋加熱子內加鋁絲。PVDF薄膜調換另一面向下 （原下面已鍍一層鋁膜面向上）。緊固在轉動圓盤上。
25. 落鍾罩。開機械泵。
a. 左下旋鈕「1」旋轉至指向2區段測量位置。
b. 當低壓真空表「2」內指針順時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。
c. 左下旋鈕「1」旋轉至指向1區段測量位置。
d. 當低壓真空表「2」內指針順時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕「1」旋轉至指向2區段測量位置。
e. 當低壓真空表「2」內指針順時針移動到指向0.1Pa時，開規管燈絲。
f. 由⑰開始重復操作至⑳ 。
26. PVDF薄膜蒸鍍完鋁層後，按順序關閉規管燈絲、高壓閥、機械泵、擴散泵。把低壓閥拉出。鍾罩充氣，充氣完畢後升鍾罩。取出工件，做好鍾罩內清理工作。
a. 落下鍾罩。
b. 開機械泵，抽3~5min，停機械泵。
c. 切斷供電總開關。
d. 1h後再關閉冷卻水。操作全部完成。
27. 正常生產中，如遇到突然停電時，要立即切斷高真空測量，關閉規管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來電後，先讓機械泵啟動工作3~5min後，再轉入正常生產。