最簡單的干涉檢查方法

Ⅰ 如何利用空氣劈尖干涉檢查工件表面的平整度

對於干涉條紋向左彎曲的部分，意味著原本應該出現某一級干涉條紋的地方已經被更高級次的干涉條紋所取代。而干涉條紋的級次越高，對應處的薄膜厚度越大，所以平板上該處是下凹的。注此處劈尖開口向右。

兩束反射光為斜面反射光和工件反射光，加入工件平整的話，以最左端為x軸沿著向右方向相同距離所產生的高度差是一樣的，會觀察到等間距的平行干涉條紋，若是不平整有凹陷的話條文會提前出現，有凸起的話條文會滯後出現，發生變化的條文只是部分。

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光波、水波及聲波等都會發生干涉。當兩束光波發生干涉時，會使有些區域變亮而有些區域變暗，即出現干涉條紋。

干涉條紋的出現對於光學測量微小變形具有重要意義，同時也廣泛存在於生活中，如半透膜，彩色的肥皂泡等。

光波是以正弦波的形式在介質中傳播的，由於光波傳播的獨立性和線性疊加性，兩束或兩束以上同頻光波相遇時，會根據相位的不同出現光強增強或減弱的現象。

兩列頻率相同的波在同一介質中傳播發生重疊時，重疊范圍內介質的質點同時受到兩個波的作用。若波的振幅不大，此時重疊范圍內介質質點的振動位移等於各別波動所造成位移的矢量和，這稱為波的疊加原理。

若兩波的波峰（或波谷）同時抵達同一地點，稱兩波在該點同相，干涉波會產生最大的振幅，稱為相長干涉若兩波之一的波峰與另一波的波谷同時抵達同一地點，稱兩波在該點反相，干涉波會產生最小的振幅。

Ⅱ 利用光的干涉來檢測物體表面的平整度的方案

利用光的干涉來檢測物體表面的平整度可以用一個標准平板在上方，待測平板在下方，組成空氣劈尖。如果待測平板表面不平整，產生的等厚干涉條紋就會發生彎曲。

根據薄膜干涉的道理，可以測定平面的平直度．測定的精度很高，甚至幾分之一波長那麼小的隆起或下陷都可以從條紋的彎曲上檢測出來．若使兩個很平的玻璃板間有一個很小的角度，就構成一個楔形空氣薄膜，用已知波長的單色光入射產生的干涉條紋，可用來測很小的長度．