平晶檢測方法

1. 如何用干涉儀檢測平面平晶

「計算干涉條紋誤差」，你說的是用干涉條紋來計算平晶的面形誤差吧？
如果要定量計算，一般最好是用移相干涉法，可以得到每一點的相對高度，從而得到整個面的面形。如果只有一幅干涉圖，就只能傾斜平晶或者參考鏡使得干涉條紋變成密集陸唯的直線組，然後用傅里葉變換法求解。
如果只是定性的看一看面形好壞則比較簡單了，如果條紋都是直條紋，說明面形是好的，如果條紋彎的毀悉穗就說明面形不好，彎的越厲害面形越差。

如果要了解詳細的纖卜還是找本書看看吧，比如北理工出版社《光學測試技術》。

2. 千分尺平面度用干涉條紋發怎麼算

1.千分尺測量面的平面度測量

千分尺的測量面平面度的平晶檢測方法，平晶即平面平晶，其工作面是理想平面，平晶是利用光波干涉現象，將微小幾何形狀誤差變為干涉條紋進行讀數的測量平面度和直線度的工具，我們在檢定千分尺時用的通常為1級平面平晶。檢測時將平晶工作面和被檢測量面用航空汽油擦凈後，把平晶工作面靠在被測面上，當被測面是理想平晶時則平晶工作面與被測面緊密接觸，沒有空氣層，所以看到的干涉條紋為平直狀，如果被測面不是理想平面，平晶工作面與被測面之間有空氣層，於是我們看到的不是平行明暗交替的干涉條紋，而變成了圓形多條干涉條紋。被測面平面度越差，干涉條紋變形越大。當偏差大到一定程度時，就變成光圈，因此，我們可以根據干涉條紋的形狀或光圈的數量計算出被測平面的偏差量——平面度。如圖1為干涉條紋反映平面度由好到差的3種情況。

根據干涉條紋計算平面度，被測面的平面度δ是由通過平晶直徑方向上干涉條紋的彎曲量（h）相對於條紋的間距（H）乘以所用光的波長（λ）的一半計算的：

根據光圈計算平面度。當干涉條紋的彎曲量等於干涉條紋的間距，即h=H時，干涉條紋就變成光圈：=N=1，根據光圈計算平面度時，在光圈大於1的情況下，是取平晶直徑方向上光圈數最多的光圈數（N）乘以所入光的一半為平面度δ=N

2.千分尺測量面的平行度的測量

對於100mm以下的千分尺測量面平行度檢定,通常我們使用平行平晶，將平行平晶放在千分尺兩測量面間，使千分尺兩測量面與平行平晶兩個工作面接觸，接觸面之間產生干涉條紋，以平行平晶兩工作面上產生的干涉條紋數代入（m+n）r/2公式計算平行性。（其中，m，n為兩測量面上產生的干涉條紋數；r為所用光源的波長）。檢定需要四塊平行平晶，其尺寸彼此差值相當於微動螺桿四分之一周，依次使四塊平行平晶與千分尺測量面接觸，並調到干涉帶條數為最少時進行讀數，最後以四塊平行平晶在千分尺兩測量面產生干涉條紋數最多的一塊作為千分尺的平行度。

對於大於100mm以上的千分尺測量面平行度檢定通常搜逗我們使用量塊，用對應千分尺測量范圍的量塊放在千分尺兩測量面間，用量塊同一個位置對千分尺測量面的上下左右四個位置上分別讀數，並求出差值，其中最大值即為被檢千分尺的測量面平行度。

3.千分尺測量面的平面度超差和千分尺測量面間的平行性超差的調修

千分尺兩測量面的平面度與平行度不合格，通常是研磨修信仔復，三塊以上研磨器、W2-W10研磨膏、煤油、平面度和平行度合格的測微螺桿等設備組成調修工具，用平面度優於0.3um,且測量面與螺桿軸心垂直度已得到驗證的測微螺桿取代原千分尺測微螺桿，並以其測量面為基準；在研磨器的一面均勻塗上用煤油和研磨膏，另一面只塗潤滑劑；然後將研磨膏的一面與待修千分尺固定測砧測量面相接觸，另一面接觸測微螺桿測量面作為基準，這樣可使其兩測量面保持平行，研磨時，大拇指、食指、中指捏住研磨器，保持平衡均勻用力，研磨器的前後推動並上下拉動，均勻旋轉運動；將原測微螺桿旋入滑漏汪，以研磨合格的固定測砧測量面為基準，按上面方法研磨測微螺桿測量面，研磨工作如圖2所示。

對於測量范圍在300毫米以上千分尺有些測砧是可調的，測量面的平面度與平行性的修理可以將測砧測量面、測微螺桿測量分別研磨，大尺寸千分尺測微螺桿同樣也是（0-25）mm的，可以將測微螺桿拆下旋入標準的（0-25）mm千分尺內，研磨測微螺桿測量面的平面度和平行度，研磨好再旋入待修大尺寸千分尺內測量平面度和平行度，進行測砧平面度研磨和調整，最後檢定。這是傳統手工研磨方法，非常有效，但不易操作，目前也有很多自動型研磨機進行平面度和平行度的調修，有條件的單位也可以配置千分尺測量面平行度檢查儀等專用測量器具。

千分尺測量面的平面度和平行度是示值誤差的主要引入方面，是我們日常檢定工作中主要關注的要點，根據多年從事千分尺修理方面的知識，相關人員目前正在著手設計大尺寸外徑千分尺研磨夾具，以便能不拆卸測微螺桿直接研磨。

3. 如何測量平行度

問題一：平行度、垂直度、平面度一般如何檢測？ 一般是用千分表或則時百分表來檢測的，也就是打表的方法，具體起來就是和其他東西配合起來使用，具體工件和形位公差不同用不同的方法。比如軸類的跳動就是可以在偏擺儀或者時齒跳儀上用雙頂尖定位後用百分表（車削後）或者千分表（磨削後）來檢測。要是平面度的話，就有點麻煩了，需要把工件放到一個標准平板上（一般是鑄鐵磨削後刮，具有很高的平面度的基準，精度高也有用大理石的），平面有規律的取幾個點，比如像田字的那九個點樣子。然後通過一定的計算換算出平面度，這個要麻煩。平行度和垂直度一般是有一定的檢測儀器獲得自製檢具，比如兩個平面的平行度檢測，把基準平面放到一個平面度很高的檢具上，直接用表打出數值就是結果，比如孔軸線對端面的垂直度，就用一根精密程度很高的芯棒插到孔裡面去（可對孔的公差准備多根不同直徑而直徑差距非常小的芯棒），然後把芯棒放到偏擺儀或者齒跳儀上去，打端面表的，看結果。一般來說檢測方法都比較麻煩，所以一般要是批量生產的話形位公差多為抽檢。但現在也有各種檢測儀器。一般價格都比較昂貴並且不一定最終的綜合效率比上述的方法高，但對一些零件只有用這些儀器來檢測。

問題二：兩個平面的平行度怎麼測量? 用千分尺測出他的高低值.就是他的平行度.這是最簡單的一種.還有一種就是把基準面放膽平板上,用表來測量另一面的值也可以.

問題三：平行度如何簡單快速測量 簡單快速的測量平行度，可以考慮使用機床測頭，加工後卸下刀具，安裝上測頭，通過調用測量宏程序，控制機床測頭來採集工件某些點的空間坐標值，與理論值對比即可，機床測頭具有高測量效率，閉輪簡單快速，精度可達1um。

問題四：怎樣用百分表測量兩個面的平行度 可以把產品（零件）放在平板上，然後再百分表多次測量，所得數據中的最大差值為兩個面的平行度

問題五：平行度測量用什麼儀器好？ 不是一句話能夠說清楚的，這要看你的產品大小和結構，還要看被測要素與基準要素之間空間位置關系，具體問題具體分析。你應該說清楚你的產品是什麼，產品有多大，是什麼幾何要素對什麼幾何要素的平行度（線MM線、線MM面、面MM線、面MM面的哪一種，線是表面直線還是軸心線，面是表面還是中心面，等等）。你說的方法是平面度檢測方法的「打表法」，因為上述情況你都沒有說清楚，所以很難說打表法是否適合於你的產品平行度檢測。 如果是相同位置的上下表面平行度，表面的邊長或直徑不十分大時，可以放在平板上用千分表、百分表、測微計等指示計採用打表法檢測。如果表面的邊長或直徑太大，就找不到合適的檢驗平板，而無法使用打表法，但可用千分尺測量不同位置的厚度差來檢測平行度。如果是一個表面相對於另一個位置表面的平行度則無法用測量厚度差的方法檢測。 如果是片狀產品的一條直線相對於另一條直線的平行度，打表法並不適用，有效的檢測方法是影像法檢測，可以使用萬工顯、投影儀等埂產品大小超過萬工顯測量范圍時可歲態鬧以使用帶有CCD系統的三坐標測量機。 當產品大小為數米，數十米時，最佳方法應該是使用電子水平儀（或合像水平儀）加橋板，或者激光自動跟蹤儀等分別檢測基準要素和被測要素，通過數據處理來實現平行度檢測。

問題六：如何自動測量平行度 這個取供於你零件的結構，還有需要的精度要求，有很多以前可以實現自動，類似三座標測量儀，還有各種影像測量設備都可以

問題七：門與框架平行度 如何測量，詳細一點，請教各位大神 矩形的對角線長度相等，所以一般直接量門或門框的寬度上下是否相等，對角線是否長度相等就知道是否是一個矩形。

問題八：千分尺的平行度如何測量？ 一般用平性平晶和量塊檢千分尺的乎罩平行度。若用量塊檢、你怕測不準（因為1／4D），就用可用平晶檢。具體如下：檢定時，將平行平晶放在千分尺兩測量面間，轉動千分尺測桿，使千分尺兩測量面與平行平晶兩個測量面接觸，接觸面之間產生干涉條紋，以兩測量面上產生的干涉條紋數代入（m+n)r/2式。其中，m,n為兩測量面上產生的干涉條紋數；r為所用光源的波長。檢定需要四塊平性平晶，其尺寸彼此差值相當搐微動螺絲四分之一轉依次使四塊平性平晶與測量面接觸，並調到干涉帶條數為最少時進行讀數。最後以四塊平性平晶在外徑千分尺兩測量面產生干涉條紋數最多的一塊作為千分尺的平行性。

問題九：面對面的平行度測量方法 面對面的平行度測量方法傳統方法
1、測量面對面平行度誤差
公差要求是測量面相對於基準平面的平行度誤差。基準平面用平板體現，如下圖所示。測量時，雙手推拉表架在平板上緩慢地作前後滑動，用百分表或千分表在被測平面內滑過，找到指示表讀數的最大值和最小值。
2、測量線對面平行度誤差
公差要求是測量孔的軸線相對於基準平面的平行度誤差。需要用心軸模擬被測要素，將心軸裝於孔內，形成穩定接觸，基準平面用精密平板體現，如下圖所示，測量時，雙手推拉表架在平板上緩慢地作前後滑動，當百分表或千分表從心軸上素線滑過，找到指示表指針轉動的往復點(極限點)後，停止滑動，進行讀數。在被測心軸上確定兩個測點a、b，設二測點距離為12，指示表在二測點的讀數分別
3、測量線對線平行度誤差
公差要求是測量孔的軸線相對於基準孔的軸線的平行度誤差。需要用心軸模擬被測要素和基準要素，將兩根心軸裝於基準孔和被測孔內，形成穩定接觸，如下圖所示：測量前，要先找正基準要素，找正基準心軸上素線與平板工作面平行。實驗時用一對等高支承基準心軸，就認為找正好了。也可以用一個固定支承和一個可調支承基準心軸，雙手推拉表架在平板上緩慢地作前後滑動，調整可調支承，當指示表在基準心軸上素線左右兩端的讀數相同時，就認為找正好了。
新型方法
測量儀器：偏擺儀、百分表、數據採集儀、影像測量儀、三坐標測量機
測量原理：數據採集儀會從百分表中自動讀取測量數據的最大值跟最小值，然後由數據採集儀軟體自動計算出平行度誤差，最後數據採集儀會自動判斷所測零件的平行度誤差是否在平行度公差范圍內，如果所測平行度誤差大於平行度公差值，採集儀會自動發出報警功能，提醒相關操作人員該產品不合格。測量效果示意圖：
數據採集儀連接百分表測量平行度誤差示意圖
數據採集儀連接百分表測量平行度誤差示意圖
優勢：
1）無需人工用肉眼去讀數，可以減少由於人工讀數產生的誤差；
2）無需人工去處理數據，數據採集儀會自動計算出平行度誤差值。
3）測量結果報警，一旦測量結果不在平行度公差帶時，數據採集儀就會自動報警。

問題十：三坐標怎麼測量兩個方向的平行度 50分 平行度指兩平面或者兩直線平行的程度，指一平面（直線）相對於另一平面（直線）平行的誤差最大允許值。
以Lab為基準求直線Lab和直線Lcd平行度 ，設直線Lab與Lcd『 平行，d』是b點對應在Lcd『的點， dd』兩點間的距離（△dd』）即為平行度差值
三維坐標計算：
設立獨立坐標系：a（0,0,0）點為原點；b點（0，b，0）；c點（c，0，0）；d（x，y，z）；d『（c，b，0）
帶入兩點間公式：|AB|=√[(x2－x1)^2+(y2－y1)^2+(z2－z1)^2]
可得：△dd』=√[(x－c)^2+(y－b)^2+(z－0)^2]
望採納！

4. 平晶測量平面性是根據什麼原理

就是利用光線的干涉原理，在波的傳播過程中，介質中質點的振動雖頻率相同，但步調不一致，在波的傳播方向上相距△x=（n=0，1，2，…）兩個質點的振動步調一致，為同相點；相距（n=0，1，2，…）的兩個質點的振動步調相反，為反相點。波源S1、S2產生兩列波在同一介質中傳播，介質中各質點同時參與兩個振源引起的振動。質點的振動為這兩個振動的矢量和，介質中的P點，如圖離兩波源距離分別是S1P、S2P，若S1、S2是同步振動，那麼它們對P引起的振動的步調差別完全由距離差△s=S1P－S2P決定。當△s=（n=0，1，2，…），即距離差為波長的整數倍時，兩波源在P點引起的振動的步調一致，為同相振動，疊加結果是兩數值之和，即振動加強，是強點；當（n=0，1，2，…），即距離差為半波長的奇數倍時，兩振源在P點引起的振動的步調相反，為反相振動，疊加結果是兩數值之差，即振動減弱，是弱點；由此看來，強點與弱點只與位置有關，不隨時間變化。正因為不隨時間變化，才被觀察到，才能形成干涉圖樣。

5. 什麼是一級平晶

平面平晶用於測量高光潔表面的平面度誤差，1級精度的為0.03～0.05微米。

光學測量平面是表面粗糙度數值和平面度誤差都極小的玻璃平面，它能夠產生光波干涉條紋（見激光測長技術）。平晶用光學玻璃或石英玻璃製造吵褲。常用的平晶有平面平晶、長平晶和平行平晶。

平面平晶用於測量高光潔表面的平面度誤差，圖1a為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45～150毫米。其光學測量平面的平面度誤差為:1級精度的為0.03～0.05微米；2級精度的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的有鋒轎效長度一般為200毫米。

(5)平晶檢測方法擴展閱讀：

用途

平面平晶是用於以干涉法測量塊規，以及檢驗塊規、量規、零件密封面、測量儀器及測量工具量面的研合性和平面度的 常用工具。

適用於光學加工廠、廠礦企業計量室、精密加工車間、閥門密封面現場檢測使用，也適用於高等院校、科學研究等單位做銀碰肆平面度等檢測。

6. 常用平整度檢測方法有哪四種

1、塞尺測量法

只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時隨地進行平面度的粗測。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由於其精度不高，常規最薄塞尺為10um，檢測效率較低，結果不夠全面，只能檢測零件邊緣。

2、液平面法

基於連通器工作原理，適合測量連續或不連續的大平面的平面度，但測量時間長，且對溫度敏感，僅適用於測量精度較低的平面。

3、激光平面干涉儀測量法

最典型的用法是平晶干涉法。但主要於測量光潔的小平面的測量，如千分頭測量面，量規的工作面，光學透鏡。

4、水平儀測量法

廣泛用於工件表面的直線度和平面度測量。測量精度高、穩定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反復挪動儀器位置，記錄各測點的數據，費時、費力，調整時間長，數據處理程序繁瑣。

5、打表測量法

典型應用為平板測微儀及三坐標儀，其中優以三坐標儀為應用最廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動，按選定的布點測取各測量點相對於測量基準的數據，再經過數據處理評定出平面度誤差。但其效率較低，通常一個樣品需要幾分鍾，離15ppm的期望相差甚遠。

(6)平晶檢測方法擴展閱讀：

影響路面平整度因素可涉及到設計，施工，自然條件等方方面面，優良的路面平整度，要依靠優良的施工裝備，精細的施工工藝，嚴格的施工質量控制以及經常和及時的養護來保證.影響瀝青混凝土路面平整度的因素主要有：不均勻沉降，攤鋪工藝，碾壓工藝，橫接縫處理，配合比設計，下承層病害等.

平整度直接反映了車輛行駛的舒適度及路面的安全性和使用期限。路面平整度的檢測能為決策者提供重要的信息，使決策者能為路面的維修、養護及翻修等作出優化決策。另一方面，路面平整度的檢測能准確地提供路面施工質量的信息，為路面施工提供一個質量評定的客觀指標。

7. 除了三坐標還有沒有什麼儀器可以檢測平面度的

前攜頃面那位說的有些問題。。。
1，最常用的方法是產品放置在平板上用千分表打表檢測；
2，平晶檢測的精度很高，而不是不高，但局限性很大。。。。如果零件表面粗糙度不夠，沒法用平晶去測，而且平晶扒敬尺寸有限，無法反映大表面的平面度春隱慎
3，大尺寸平面度可以使用水平儀或激光水平儀

8. 平晶能檢測非鏡面的物質嗎

能檢測。平面信衫鄭平晶由玻璃或水晶製成塌森，用來檢查光整鏡面的平面度、用來檢測非鏡面的物質。平晶平面度檢測是一種通過光學方法滑頌來檢測晶體表面平整度的技術。

9. 眶耳平面屬於測量平面嗎

屬於測量平面的。

眶耳平面：由眶下緣最低點到外耳孔上緣連成的平面稱眶耳平面。當人端坐、頭直立時，此平面與水平面平行。此平面可用作牙列、咬合及牙列相對運動時的對照基準平面，是口腔醫學的重要參考平面。眶耳平面在人坐正，頭直立時，與地面平行。

測量平面方法

平面度，是屬於形位公差中的一種，指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。在傳統的檢測方法中，平面度的測量通常有：塞規／塞尺測量法、液平面法、激光平面干涉儀測量法（平晶干涉法）、水平儀／數字水平儀測量法、以及打表測量法。

塞尺測量法，只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時隨地進行平面度的粗測。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由於其精度不高，常規最薄塞尺為10um，檢測效率較低，結果不夠全面，只能檢測零件邊緣。

液平面法，基於連通器工作原理，適合測量連續或不連續的大平面的平面度，但測量時間長，且對溫度敏感，僅適用於測量精度較低的平面。激光平面干涉儀測量法，最典型的用法是平晶干涉法。但主要於測量光潔的小平面的測量，如千分頭測量面，量規的工作面，光學透鏡。

水平儀測量法，廣泛用於工件表面的直線度和平面度測量。測量精度高、穩定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反復挪動儀器位置，記錄各測點的數據，費時、費力，調整時間長，數據處理程序繁瑣。

打表測量法，典型應用為平板測微儀及三坐標儀，其中優以三坐標儀為應用最廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動，按選定的布點測取各測量點相對於測量基準的數據，再經過數據處理評定出平面度誤差。但其效率較低，通常一個樣品需要幾分鍾，離15ppm的期望相差甚遠。

10. 平面度怎樣測量

平面度測量的常用方法有如下幾種：

1、平晶干涉法：用光學平晶的工作面體現理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用於測量小平面，如量規的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。

平面是由直線組成的，因此直線度測量中直尺法、光學準直法、光學自準直法、重力法等也適用於測量平面度誤差。測量平面度時，先測出若干截面的直線度。

再把各測點的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計演算法進行數據處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板塗色法測量平面誤差的。

2、打表測量法：打表測量法是將被測零件和測微計放在標准平板上，以標准平板作為測量基準面，用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。打表測量法按評定基準面分為三點法和對角線法：三點法是用被測實際表面上相距最遠的三點所決定的理想平面作為評定基準面。

實測時先將被測實際表面上相距最遠的三點調整到與標准平板等高；對角線法實測時先將實際表面上的四個角點按對角線調整到兩兩等高。然後用測微計進行測量，測微計在整個實際表面上測得的最大變動量即為該實際表面的平面度誤差。

3、液平面法：液平面法是用液平面作為測量基準面，液平面由 「連通罐」內的液面構成，然後用感測器進行測量。此法主要用於測量大平面的平面度誤差。

4、光束平面法：光束平面法是採用准值望遠鏡和瞄準靶鏡進行測量，選擇實際表面上相距最遠的三個點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。

5、激光平面度測量儀：激光平面度測量儀用於測量大型平面的平面度誤差平面度測量現場。

6、利用數據採集儀連接百分表測量平面度誤差的方法。

測量儀器：偏擺儀、百分表、數據採集儀。

測量原理：數據採集儀可從百分表中實時讀取數據，並進行平面度誤差的計算與分析，平面度誤差計算工式已嵌入我們的數據採集儀軟體中，完全不需要人工去計算繁瑣的數據，可以大大提高測量的准確率。

(10)平晶檢測方法擴展閱讀：

平面度與公差原則關系 ：

兩大公差原則 ：獨立原則和包容原則

一、獨立原則：尺寸公差與形狀公差之間是獨立的

二、包容原則：尺寸公差與形狀公差之間是有關聯的

平面度誤差的評定方法有：三遠點法、對角線法、最小二乘法和最小區域法等四種。

1、三遠點法：是以通過實際被測表面上相距最遠的三點所組成的平面作為評定基準面，以平行於此基準面，且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。

2、對角線法：是以通過實際被測表面上的一條對角線，且平行於另一條對角線所作的評定基準面，以平行於此基準面且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。

3、最小二乘法：是以實際被測表面的最小二乘平面作為評定基準面，以平行於最小二乘平面，且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。最小二乘平面是使實際被測表面上各點與該平面的距離的平方和為最小的平面。此法計算較為復雜，一般均需計算機處理。

4、最小區域法：是以包容實際被測表面的最小包容區域的寬度作為平面度誤差值，是符合平面度誤差定義的評定方法。