氦檢的兩種方法是什麼

1. 氦質譜負壓檢測是什麼

轉載：《分析測試網路網》氦質譜檢漏儀原理

一、為什麼要檢漏

泄漏和密封相對應

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設備(真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等)，需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等)，要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，後果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。

這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。

二、泄漏程度的量化

可簡單理解為：單位時間內，單位體積容器，壓強的變化。下面舉兩個例子，可以對漏率的大小有個直觀的認識。

例一、自行車胎有 4L 的容積，30 天內胎壓從 3 bar 降到 2 bar，則漏率可量化為：

這種程度的泄漏是很嚴重的，這個漏率是很高的，用我們常用的檢漏方式就能檢測到漏點：將車胎放入水中，有氣泡出來的地方就是漏點。

例二、冰箱 1 年內，雪種泄漏了10 克(分子量 102 g/mol)，大約是 2.24 bar·l， 則漏率可量化為：

這種程度的泄漏對冰箱來說，是很嚴重的，但這樣程度的漏率用普通方法根本無法檢出。這時就需要用到檢漏儀或質譜儀來檢查了。下面的內容是檢漏儀的相關介紹。

三、檢漏儀檢漏的原理

有兩種方式可以檢測出泄漏：

1. 示蹤氣體 A 放在容器裡面，處於正壓，然後用儀器去檢測，容器外圍是否有氣體 A，如果容器外有氣體 A，則容器有漏。用這種方式能檢測出漏點，並能大概判斷泄漏的程度。這種檢漏方式叫 Sniffer 檢漏或正壓檢漏。

2. 示蹤氣體 A 噴在容器外面，用儀器去檢測容器裡面是否有氣體 A。這種方式能檢測出漏點，並能測知漏率。這種檢漏方式叫真空檢漏。

如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環境有很大關系，盡量做到與檢測對象的工作狀態一致。如檢測對象工作時內部處於正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內部處於負壓，則用真空模式。

四、示蹤氣體的選擇

對示蹤氣體的要求：

1. 無害，不能對人體或環境造成傷害

2. 質量輕，惰性氣體, 能穿透微小細縫.

3. 化學性質穩定，不會起化學反應或易燃易爆

4. 最好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求

一般檢漏都用氦氣(He)作為示蹤氣體，也有用氫氣(H2)作為示蹤氣體的。

Table 1 空氣中主要氣體的屬性

Mean Velocity (m/s)

Partial Pressure (mbar)

Mean Free Paths (m.Pa)

H2

1762

1.15 X 10-3

11.5 X 10-3

He

1246

5.23 X 10-3

17.5 X 10-3

H2O

587

12

-

N2

471

781.8

5.9 X 10-3

Ar

394

9.34

6.4 X 10-3

CO2

376

3.3 X 10-1

4 X 10-3

O2

-

209.7

-

Ne

-

1.82 X 10-2

12.7 X 10-3

Xe

-

8.7 X 10-5

3.6 X 10-3

Air

463

1013

-

從上表中可以看到，氫和氦都是比較理想的示蹤氣體：空氣中的含量少，質量輕, 運動速度快，同等條件下，直線運動距離長。實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。但氫氣在使用中有一定的安全問題，所以實際大部分檢漏使用的是氦氣。五、檢漏儀的構造

氦質譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質譜儀，是只檢測氦的專用質譜儀，這種質譜儀將其它質量數的氣體都屏蔽掉了。質譜示意圖如下圖：

質譜儀要想正常工作，需要真空環境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動才體現為分子流，質譜儀才能穩定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統。

氦質譜檢漏儀的真空系統圖

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2. 氦檢箱內溫度與工件撿漏泄漏有關系沒

氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理，實現被檢件的氦泄漏量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，泄漏出來的氣體進入氦質譜檢漏儀後，由於氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在獲得氦氣信號值的基礎上，通過標准漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。
根據檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關系不同，可以將氦質譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法，以下總結了這四種氦質譜檢漏法的檢測原理、優缺點及檢測的標准。
真空法氦質譜檢漏
採用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，採用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法採用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的精確定位；
真空氦罩法採用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。
真空法的優點是檢測靈敏度高，可以精確定位，能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。
真空法的缺點是只能實現一個大氣壓差的漏率檢測，不能准確反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態。
真空法的檢測主要應用於真空密封性能要求，但不帶壓工作的產品，如空間活動部件、液氫槽車、環境模擬設備等。
正壓法氦質譜檢漏
採用正壓法檢漏時，需對被檢產品內部密封室充入高於一個大氣壓力的氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環境中，再採用吸槍的方式檢測被檢產品周圍大氣環境中的氦氣濃度增量，從而實現被檢產品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸槍法和正壓累積法。其中正壓吸槍法採用檢漏儀吸槍對被檢產品外表面進行掃描探查，可以實現漏孔的精確定位；
正壓累積法採用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，採用檢漏儀吸槍測量一定時間段前後的氦罩內氦氣濃度變化量，實現被檢產品總漏率的精確測量。
正壓法的優點是不需要輔助的真空系統，可以精確定位，實現任何工作壓力下的檢測。
正壓法的缺點是檢測靈敏度較低，檢測結果不確定度大，受測量環境條件影響大。
正壓法主要應用於大容積高壓密閉容器產品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。

3. 氦質譜檢漏儀單位是什麼

氦質譜檢漏儀單位是kg。

氦質譜檢漏儀、為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底雜訊低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔並易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。

氦質譜檢漏儀工作原理

氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由於檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體製成的氣密性檢測儀器。

由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振盪，並與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場。

由於洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中最常用的兩種方法。

4. 氦檢機設備操作原理

主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成.
離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子.
分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質荷比不同；在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙；打在收集器上.
收集放大器收集氦離子流並出入到電流放大器.通過測量離子流就可知漏率.
冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力保護裝置.

5. 你認為氦檢漏的工作原理是什麼

真空箱氦檢漏，根據氦檢漏的基本檢漏原理，用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內將氦氣充入工件，然後通過氦檢漏儀能高精度、迅速准確的判斷工件的泄露情況。

操作者把工件放在真空箱內，將工件介面與真空箱內的快速接頭進行連接，在真空箱門關閉後，系統能全自動的完成大漏檢測、工件強度檢測、抽空、充氦、檢漏、回收整個過程，生產節拍快，檢漏精度高。

工藝流程編輯

A1：安裝工件-----關真空箱門-----真空箱抽真空，同時工件內充高壓氮氣-----大漏及強度檢測；

B1：若A1檢測不通過，則系統報警，大漏工件序號顯示-----檢測程序中止；

B2：若A1檢測通過，放掉氮氣------對工件抽真空------真空箱內的氦氣本底抑零-----工件內充入氦氣-------真空模式，微漏檢測；

C1：若B2檢測不通過，則系統報警-----循環檢，小漏工件序號顯示------檢測程序中止；

C2：若B2檢測通過，真空箱內充入大氣，同時工件內氦氣回收-------真空箱開門，檢測完成。

系統特徵及優點編輯

1、高壓氮氣強度檢測真空箱內進行，保護操作者安全

2、真空箱內氦氣本底抑零，保證了檢漏的准確性、高精度。

3、檢漏儀的自動校準功能以及自動校準程序，可隨時校準檢漏儀的靈敏度、准確度。

4、特殊設計的檢測程序判斷出具體的有漏工件，並通過燈光和液晶操作屏顯示出來。

5、專利技術的密封接頭，減少誤判。

6、電氣控制系統的連鎖保護及聲光報警功能，確保了系統的操作安全及可靠運行。

7、PLC控制，使系統運行清晰明了，實現了實時監測及控制。

6. 氦氣檢漏儀的工作原理

主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成.
離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子.
分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同;在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙;打在收集器上.
收集放大器收集氦離子流並出入到電流放大器.通過測量離子流就可知漏率.
冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力保護裝置.
希望我的回答對你有所幫助.詳聊QQ929220156

7. 高純氣體氦氣檢漏操作步驟

真空法還是吸槍法？
真空法就是把容器內部抽真空，然後連接點噴氦氣
吸槍法就是容器內部充氦氣，然後用吸槍再吸

8. 雙管板換熱器怎麼做氦檢

雙管板換熱器氦氣檢漏試驗的方法：首先把封裝好的雙管板換熱器放入充滿氦氣的容器中，並加壓，讓氦氣通過小洞而進入管殼中；然後取出，並用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣；接著採用質譜儀來檢測管殼外表所漏出的氦氣。

【氦氣檢漏】就是採用氦氣來檢查元器件封裝管殼上的小漏洞。因為氦原子的尺寸很小，容易穿過小洞而進入到管殼內部，所以這種檢測方法能夠檢測出尺寸很小的小洞（即能夠檢測出漏氣速率約為10−11～10−12cm3/sec的小洞），靈敏度可與放射性檢漏方法匹敵，但要比放射性檢漏方法簡便。