半導體中測量膜厚的方法

Ⅰ 薄膜測厚儀的測量原理是什麼精度可以達到多少

在被測量的薄膜上垂直照射可視光，光的一部分在膜的表面反射，另一部分透進薄膜，然後在膜與底層之間的界面反射，薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產生干涉現象。利用白光干涉測量法的原理，它用一個寬波段的光源來測得不同波長的反射數據，由於反射率n和k隨薄膜的不同而變化，根據這一特性進行曲線擬合從而求得膜厚。不同類型材料的相應參數通過不同的模型來描述，從而保證了不同類型材料膜厚測量的准確性。
大成精密設備薄膜測厚儀採用非放射性先進測量技術，是測量隔膜厚度的理想解決方案。

Ⅱ 矽片上鍍有約30nm厚的薄膜,用什麼方法可以測試薄膜的厚度

可以把試樣玻璃一起鍍，之後根據玻璃的
透光度
判斷厚度。一般這種鍍都是
真空蒸鍍
。還有其他辦法測量沒有時間細說。

Ⅲ 晶振怎麼測量薄膜厚度

晶振片的諧振頻率隨著表面沉積膜層的厚度增加而下降，晶控儀根據這個頻率變化和預先設定的材料參數，推算出膜層厚度。

Ⅳ 如何測量薄膜的厚度

薄膜厚度是否均勻一致是檢測薄膜各項性能的基礎。很顯然，倘若一批單層薄膜厚度不均勻，不但影響到薄膜各處的拉伸強度、阻隔性等，更會影響薄膜的後續加工。對於復合薄膜，厚度的均勻性更加重要。薄膜的厚度測量是薄膜製造業的基礎檢測項目之一。
目前測量薄膜的厚度的方法有在線測厚和非在線測厚
在線測厚較為常見的在線測厚技術有β射線技術，X射線技術和近紅外技術。
β射線技術是最先應用於在線測厚技術上的射線技術。在上世紀60年代就已經廣泛用於超薄薄膜的在線厚度測量了。它對於測量物沒有要求，但β感測器對溫度和大氣壓的變化、以及薄膜上下波動敏感，設備對於輻射保護裝置要求很高，而且信號源更換費用昂貴，Pm147源可以用5-6年，Kr85源可用10年，更換費用均在6000美元左右。
X射線技術
這種技術極少為塑料薄膜生產線所採用。X光管壽命短，更換費用昂貴，一般可用2-3年，更換費用在5000美元左右，而且不適用於測量多種元素構成的聚合物，信號源發射性強。X射線技術常用於鋼板等單一元素的測量。
近紅外技術
近紅外技術在在線測厚領域的應用曾受到條紋干涉現象的影響，但現在近紅外技術已經突破了條紋干涉現象對於超薄薄膜厚度測量的限制，完全可以進行多層薄膜總厚度的測量，並且由於紅外技術自身的特點，還可以在測量復合薄膜總厚度的同時給出每一層材料的厚度。近紅外技術可用於雙向拉伸薄膜、流延膜和多層共擠薄膜，信號源無放射性，設備維護難度相對較低。
非在線測厚
非在線測厚技術主要有一觸式測量法和非接觸式測量法兩類，接觸式測量法主要是機械測量法，非接觸式測量法包括光學測量法，電渦流測量法、超聲波測量法等。由於非在線測厚儀設備價格便宜、體積小等原因，應用領域廣闊。
渦流測厚儀和磁性測厚儀
渦流測厚儀和磁性測厚儀一般都是小型攜帶型設備，分別利用了電渦流原理和電磁感應原理。專用於各種特定塗層厚度的測量，用於測量薄膜、紙張的厚度時有出現誤差的可能。
超聲波厚度儀
超聲波厚度儀也多是小型便攜帶設備，利用超聲波反射原理，可測金屬、塑料、陶瓷、玻璃及其它任何超聲波良導體的厚度。可在高溫下工作，這是很多其它類型的測厚儀所不具備的，但對檢測試樣的種類具有選擇性。
光學測厚儀
從測量原理上來說光學測厚儀可達到極高的測試精度，但是這類測厚儀在使用及維護上要求極高；必須遠離振源；嚴格防塵；專業操作及維護等。使用范圍較窄，僅適用於復合層數較少的復合膜。
機械測厚儀
機械測厚儀可以分為點接觸式和面接觸式兩類，是一種接觸式測厚方法，它與非接觸式測量方法有著本質的區別——能夠在進行厚度測量前給試樣測量表面施加一定的壓力（點接觸力或面接觸力），這樣可以避免在使用非接觸式測厚儀測量那些具有一定壓縮力、表面高低不平的材料時可能出現數據波動較大的現象。
所以具體要選擇哪一類測厚儀設備還需根據軟包裝材料的種類，廠家對厚度均勻性的要求、以及設備的測試范圍等因素而定。
本答案源於PP論壇

Ⅳ 測透明薄膜的厚度的測量方案

光學薄膜測厚儀 (SpectraThick Series) 的核心技術介紹和原理說明

SpectraThick series的特點是非接觸, 非破壞方式測量，無需樣品的前處理，軟體支持Windows操作系統等。ST series是使用可視光測量wafer，glass等substrates上形成的氧化膜，氮化膜，Photo-resist等非金屬薄膜厚度的儀器。

測量原理如下：在測量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可視光，這時光的一部分在膜的表面反射，另一部分透進薄膜，然後在膜與底層 (wafer或glass)之間的界面反射。這時薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產生干涉現象。SpectraThick series就是利用這種干涉現象來測量薄膜厚度的儀器。

儀器的光源使用Tungsten
Lamp，波長范圍是400 nm ~ 800 nm。從ST2000到ST7000使用這種原理，測量面積的直徑大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作為K-MAC (株) 最主要的產品之一，有image processs功能，是超越一般薄膜厚度測量儀器極限的新概念上的厚度測量儀器。測量面積的最小直徑為0.2μm，遠超過一般厚度測量儀器的測量極限 (4μm)。順次測量數十個點才能得到的厚度地圖 (Thickness Map) 也可一次測量得到，使速度和精確度都大大提高。這一技術已經申請專利。

韓國K-MAC (株)
SpectraThick series的又一優點是一般儀器無法測量的粗糙表面 (例如鐵板，銅板) 上形成的薄膜厚度也可以測量。這是稱為VisualThick OS的新概念上的測量原理。除測量薄膜厚度外還有測量透射率，玻璃上形成的ITO薄膜的表面電阻，接觸角度 (Contact Angle) 等的功能，目前國內外知名的半導體行業及光刻膠等相關行業的很多企業都選擇K-MAC膜厚儀，廣州市金都恩科精密儀器有限公司是中國區總代理，進入企業網站可以詳細了解。

產品說明

本儀器是把UV-Vis光照在測量對象上，利用從測量對象中反射出來的光線測量膜的厚度的產品。

這種產品主要用於研究開發或生產導電體薄膜現場，特別在半導體及有關Display工作中作為

In-Line monitoring 儀器使用。

產品特性

1) 因為是利用光的方式，所以是非接觸式，非破壞式，不會影響實驗樣品。

2) 可獲得薄膜的厚度和 n,k 數據。

3) 測量迅速正確，且不必為測量而破壞或加工實驗樣品。

4) 可測量 3層以內的多層膜。

5) 根據用途可自由選擇手動型或自動型。

6) 產品款式多樣，而且也可以根據顧客的要求設計產品。

7)可測量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage
size 3「 )

8)Table Top型, 適用於大學,研究室等

Ⅵ 薄膜測厚儀原理是什麼如何使用

不要管樓上的說了那麼多廢話，簡單的說吸蟲器就是在樣本調查時用的抓捕昆蟲的工具，最簡單的吸蟲器就是一個帶有管子的塑料罐。

Ⅶ 薄膜在線測厚儀的有哪些測量原理

薄膜在線測厚儀的測量原理有4種：射線技術，X射線技術，近紅外技術和光學透過率技術
2.1 射線技術
射線技術是最先應用於在線測厚技術上的射線技術，在上世紀60年代就已經廣泛用於超薄薄膜的在線厚度測量了。它對於測量物沒有要求，但感測器對溫度和大氣壓的變化、以及薄膜上下波動敏感，設備對於輻射保護裝置要求很高，而且信號源更換費用昂貴，Pm147源可用5-6年，Kr85源可用10年，更換費用均在6000美元左右。

2.2 X射線技術
這種技術極少為塑料薄膜生產線所採用。X光管壽命短，更換費用昂貴，一般可用2-3年，更換費用在5000美元左右，而且不適用於測量由多種元素構成的聚合物，信號源放射性強。X射線技術常用於鋼板等單一元素的測量。

2.3 近紅外技術
近紅外技術在在線測厚領域的應用曾受到條紋干涉現象的影響，但現在近紅外技術已經突破了條紋干涉現象對於超薄薄膜厚度測量的限制，完全可以進行多層薄膜總厚度的測量，並且由於紅外技術自身的特點，還可以在測量復合薄膜總厚度的同時給出每一層材料的厚度。近紅外技術可用於雙向拉伸薄膜、流延膜和多層共擠薄膜，信 號源無放射性，設備維護難度相對較低。

2.4光學塗層技術
對於透光的材料，材料一定的情況下，透過率和測量的厚度成一一對應關系，所有通過測量材料的光學透過率（光密度）來達到測量材料厚度的目的，在卷繞式鍍膜行業，如鍍鋁膜，各種包裝膜，通過在線監測薄膜的透過率來在線監測生產的品質，已經是一種非常成熟的方案。如深圳市林上科技的LS152真空鍍膜在線測厚儀就是利用光學透過率的原理來實現非接觸式的在線測厚，該儀器支持RS485通訊介面和MODBUS通訊協議，可以與鍍膜機上的PLC進行通訊實現閉環控制。

Ⅷ iso 2808測量膜厚有幾種方法

濕膜厚度：方法1A-齒輪檢查量規；方法1B-車輪量規；方法1C-度盤式指示器；方法2-通過質量的差異。干膜厚度：機械法，電磁法，渦流法，破壞法，貝它/X射線法

Ⅸ 怎樣測量薄膜厚度

可以用高精度的塗層測厚儀PD-CT2，下面墊一塊鐵基體，薄膜太軟了不行，可以用平頭有的測厚規來測，但是精度不高