光學的方法測量外形輪廓

Ⅰ 3d光學輪廓儀基本原理和測試步驟

3D光學輪廓儀，以其白光干涉技術為核心，實現光在不同表面反射後形成干涉條紋進行分析，實現納米級精度的非接觸式樣品表面形貌測量。其基本原理通過不同光學元件，構建參考光路和檢測光路，適用於表面形貌紋理、微觀結構分析，能自動聚焦測量工件，獲取包括2D、3D表面粗糙度、輪廓等100多項參數，廣泛應用於光學、半導體、材料、精密機械等領域。

基於光學干涉原理，3D光學輪廓儀通過光束分光、反射、合成，觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度與光程差相關，解析出樣品相對高度，實現超精密表面輪廓測量。

具體測量步驟以單刻線台階為例：首先，確保儀器線路接頭准確插接，開啟電源、啟動計算機，並將工件放置於載物台，手動調整大致位置，對准目鏡下方。在計算機上打開測量軟體，設置目鏡下行的最低點，調整鏡頭與表面距離，確保屏幕上可見兩到三條干涉條紋，設置掃描距離，開始自動掃描，測量後自動生成3D圖像，進行數據分析。

3D光學輪廓儀具備高測量精度、操作便捷、功能全面、測量參數廣泛的特點，測量單個精密器件僅需2分鍾，確保高效檢測。其特殊光源模式適應各種精密器件表面測量，從光滑到粗糙均能精確測量。

Ⅱ 什麼是輪廓儀

輪廓儀，顧名思義，是測量產品表面輪廓尺寸的儀器，根據工作原理的不同，可以分為接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓（光學輪廓儀）。

1.接觸式輪廓儀

接觸式輪廓儀是通過觸針在被測物體表面滑過獲取表面輪廓參數，如角度處理（坐標角度，與Y坐標的夾角，兩直線夾角）、圓處理（圓弧半徑，圓心到圓心距離，圓心到直線的距離，交點到圓心的距離，直線到切點的距離）、點線處理（兩直線交點，交點到直線距離，交點與交點距離，交點到圓心的距離）、直線度、凸度、對數曲線、槽深、槽寬、溝曲率半徑、溝邊距、溝心距、輪廓度、水平距離等形狀參數。代表型號為SJ57系列。