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光學平晶彎曲量測量方法

發布時間:2022-10-11 09:00:53

Ⅰ 平晶測量平面性是根據什麼原理

就是利用光線的干涉原理,在波的傳播過程中,介質中質點的振動雖頻率相同,但步調不一致,在波的傳播方向上相距△x=(n=0,1,2,…)兩個質點的振動步調一致,為同相點;相距(n=0,1,2,…)的兩個質點的振動步調相反,為反相點。波源S1、S2產生兩列波在同一介質中傳播,介質中各質點同時參與兩個振源引起的振動。質點的振動為這兩個振動的矢量和,介質中的P點,如圖離兩波源距離分別是S1P、S2P,若S1、S2是同步振動,那麼它們對P引起的振動的步調差別完全由距離差△s=S1P-S2P決定。當△s=(n=0,1,2,…),即距離差為波長的整數倍時,兩波源在P點引起的振動的步調一致,為同相振動,疊加結果是兩數值之和,即振動加強,是強點;當(n=0,1,2,…),即距離差為半波長的奇數倍時,兩振源在P點引起的振動的步調相反,為反相振動,疊加結果是兩數值之差,即振動減弱,是弱點;由此看來,強點與弱點只與位置有關,不隨時間變化。正因為不隨時間變化,才被觀察到,才能形成干涉圖樣。

Ⅱ 平面度怎樣測量

平面度測量的常用方法有如下幾種:

1、平晶干涉法:用光學平晶的工作面體現理想平面,直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用於測量小平面,如量規的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。

平面是由直線組成的,因此直線度測量中直尺法、光學準直法、光學自準直法、重力法等也適用於測量平面度誤差。測量平面度時,先測出若干截面的直線度。

再把各測點的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計演算法進行數據處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板塗色法測量平面誤差的。

2、打表測量法:打表測量法是將被測零件和測微計放在標准平板上,以標准平板作為測量基準面,用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。打表測量法按評定基準面分為三點法和對角線法:三點法是用被測實際表面上相距最遠的三點所決定的理想平面作為評定基準面。

實測時先將被測實際表面上相距最遠的三點調整到與標准平板等高;對角線法實測時先將實際表面上的四個角點按對角線調整到兩兩等高。然後用測微計進行測量,測微計在整個實際表面上測得的最大變動量即為該實際表面的平面度誤差。

3、液平面法:液平面法是用液平面作為測量基準面,液平面由 「連通罐」內的液面構成,然後用感測器進行測量。此法主要用於測量大平面的平面度誤差。

4、光束平面法:光束平面法是採用准值望遠鏡和瞄準靶鏡進行測量,選擇實際表面上相距最遠的三個點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。

5、激光平面度測量儀:激光平面度測量儀用於測量大型平面的平面度誤差平面度測量現場。

6、利用數據採集儀連接百分表測量平面度誤差的方法。

測量儀器:偏擺儀、百分表、數據採集儀。

測量原理:數據採集儀可從百分表中實時讀取數據,並進行平面度誤差的計算與分析,平面度誤差計算工式已嵌入我們的數據採集儀軟體中,完全不需要人工去計算繁瑣的數據,可以大大提高測量的准確率。

(2)光學平晶彎曲量測量方法擴展閱讀:

平面度與公差原則關系 :

兩大公差原則 :獨立原則和包容原則

一、獨立原則:尺寸公差與形狀公差之間是獨立的

二、包容原則:尺寸公差與形狀公差之間是有關聯的

平面度誤差的評定方法有:三遠點法、對角線法、最小二乘法和最小區域法等四種。

1、三遠點法:是以通過實際被測表面上相距最遠的三點所組成的平面作為評定基準面,以平行於此基準面,且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。

2、對角線法:是以通過實際被測表面上的一條對角線,且平行於另一條對角線所作的評定基準面,以平行於此基準面且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。

3、最小二乘法:是以實際被測表面的最小二乘平面作為評定基準面,以平行於最小二乘平面,且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。最小二乘平面是使實際被測表面上各點與該平面的距離的平方和為最小的平面。此法計算較為復雜,一般均需計算機處理。

4、最小區域法:是以包容實際被測表面的最小包容區域的寬度作為平面度誤差值,是符合平面度誤差定義的評定方法。

Ⅲ 一工件有2個面,請問平面度,平行度分別怎麼測量

平面度:1、平晶干涉法:用光學平晶的工作面體現理想平面,直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。

2、打表測量法:打表測量法是將被測零件和測微計放在標准平板上,以標准平板作為測量基準面,用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。

3、液平面法:液平面法是用液平面作為測量基準面,液平面由 「連通罐」內的液面構成,然後用感測器進行測量。此法主要用於測量大平面的平面度誤差。

4、光束平面法:光束平面法是採用准值望遠鏡和瞄準靶鏡進行測量,選擇實際表面上相距最遠的三個點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。

平行度:數據採集儀會從百分表中自動讀取測量數據的最大值跟最小值,然後由數據採集儀軟體自動計算出平行度誤差,最後數據採集儀會自動判斷所測零件的平行度誤差是否在平行度公差范圍內,如果所測平行度誤差大於平行度公差值,採集儀會自動發出報警功能,提醒相關操作人員該產品不合格。

(3)光學平晶彎曲量測量方法擴展閱讀

1、測量面對面平行度誤差

公差要求是測量面相對於基準平面的平行度誤差。基準平面用平板體現。測量時,雙手推拉表架在平板上緩慢地作前後滑動,用百分表或千分表在被測平面內滑過,找到指示表讀數的最大值和最小值。

2、測量線對面平行度誤差

公差要求是測量孔的軸線相對於基準平面的平行度誤差。需要用心軸模擬被測要素,將心軸裝於孔內,形成穩定接觸,基準平面用精密平板體現,測量時,雙手推拉表架在平板上緩慢地作前後滑動,當百分表或千分表從心軸上素線滑過,找到指示表指針轉動的往復點(極限點)後,停止滑動,進行讀數。

3、測量線對線平行度誤差

公差要求是測量孔的軸線相對於基準孔的軸線的平行度誤差。需要用心軸模擬被測要素和基準要素,將兩根心軸裝於基準孔和被測孔內,形成穩定接觸,測量前,要先找正基準要素,找正基準心軸上素線與平板工作面平行。實驗時用一對等高支承基準心軸,就認為找正好了。

也可以用一個固定支承和一個可調支承基準心軸,雙手推拉表架在平板上緩慢地作前後滑動,調整可調支承,當指示表在基準心軸上素線左右兩端的讀數相同時,就認為找正好了

Ⅳ 平面度測量要求:

平面度測量要求:
1、平晶干涉法:用光學平晶的工作面體現理想平面,直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用於測量小平面,如量規的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。
2、打表測量法:打表測量法是將被測零件和測微計放在標准平板上,以標准平板作為測量基準面,用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。打表測量法按評定基準面分為三點法和對角線法:三點法是用被測實際表面上相距最遠的三點所決定的理想平面作為評定基準面,實測時先將被測實際表面上相距最遠的三點調整到與標准平板等高;對角線法實測時先將實際表面上的四個角點按對角線調整到兩兩等高。然後用測微計進行測量,測微計在整個實際表面上測得的最大變動量即為該實際表面的平面度誤差。
3、液平面法:液平面法是用液平面作為測量基準面,液平面由 「連通罐」內的液面構成,然後用感測器進行測量。此法主要用於測量大平面的平面度誤差。
4、光束平面法:光束平面法是採用准值望遠鏡和瞄準靶鏡進行測量,選擇實際表面上相距最遠的三個點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。
5、激光平面度測量儀:激光平面度測量儀用於測量大型平面的平面度誤差。
6、利用數據採集儀連接百分表測量平面度誤差的方法。

平面度測量原理:
數據採集儀可從百分表中實時讀取數據,並進行平面度誤差的計算與分析,平面度誤差計算工式已嵌入我們的數據採集儀軟體中,完全不需要人工去計算繁瑣的數據,可以大大提高測量的准確率。

Ⅳ 平面平晶的測量方法

平晶是利用光波干涉現象測量平面度誤差的,故其測量方法稱為平晶干涉法(圖2),也稱技術光波干涉法。測量時,把平晶放在被測表面上,且與被測表面形成一個很小的楔角 θ,以單色光源照射時會產生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關。如入射光線垂直於被測表面,且平晶與被測表面間的間隙很小,則由平晶測量面P反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P發生干涉而出現明或暗的干涉條紋。若在白光下,則出現彩色干涉條紋。如干涉條紋平直,相互平行,且分布均勻,則表示被測表面的平面度很好;如干涉條紋彎曲,則表示平面度不好。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)
λ為光波波長,白光的平均波長為0.58μm,ν為干涉帶彎曲量,ω為干涉帶間距。

Ⅵ 平面度誤差的平面度誤差檢測方法

平面度誤差是指被測實際表面相對其理想表面的變動量,理想平面的位置應符合最小條件,平面度誤差屬於形位誤差中的形狀誤差。
平面度誤差測量的常用方法有如下幾種:
1、平晶干涉法:用光學平晶的工作面體現理想平面,直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用於測量小平面,如量規的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。
2、打表測量法:打表測量法是將被測零件和測微計放在標准平板上,以標准平板作為測量基準面,用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。打表測量 法按評定基準面分為三點法和對角線法:三點法是用被測實際表面上相距最遠的三點所決定的理想平面作為評定基準面,實測時先將被測實際表面上相距最遠的三點 調整到與標准平板等高;對角線法實測時先將實際表面上的四個角點按對角線調整到兩兩等高。然後用測微計進行測量,測微計在整個實際表面上測得的最大變動量 即為該實際表面的平面度誤差。
3、液平面法:液平面法是用液平面作為測量基準面,液平面由 「連通罐」內的液面構成,然後用感測器進行測量。此法主要用於測量大平面的平面度誤差。
4、光束平面法:光束平面法是採用准值望遠鏡和瞄準靶鏡進行測量,選擇實際表面上相距最遠的三個點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。
5、激光平面度測量儀:激光平面度測量儀用於測量大型平面的平面度誤差
6、利用數據採集儀連接百分表測量平面度誤差的方法
測量儀器:偏擺儀、百分表、數據採集儀。
測量效果示意圖:
優勢:
1)無需人工用肉眼去讀數,可以減少由於人工讀數產生的誤差;
2)無需人工去處理數據,數據採集儀會自動計算出平面度誤差值。
3)測量結果報警,一旦測量結果不在平面度公差帶時,數據採集儀就會自動報警。

Ⅶ 平面度與翹曲度的測量方法是什麼區別點是什麼

Core9038a平面度檢查儀是一款根據光學自準直原理設計的儀器,它可以精確地測量機床或儀器導軌的直線度誤差,在加熱的狀態下測量PCB翹曲度和PCB平面度,利用光學直角器和帶磁性座的反射鏡等附件。

一、指代不同

1、平面度:平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。

2、翹曲度:表述平面在空間中的彎曲程度,在數值上被定義為翹曲平面在高度方向上距離最遠的兩點間的距離。

二、測量方法不同

1、平面度:

(1)平晶干涉法:用光學平晶的工作面體現理想平面,直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。

(2)打表測量法:打表測量法是將被測零件和測微計放在標准平板上,以標准平板作為測量基準面,用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。

(3)液平面法:液平面法是用液平面作為測量基準面,液平面由 「連通罐」內的液面構成,然後用感測器進行測量。

2、翹曲度:

採用注塑CAE進行設計質量預測,對翹曲變形模擬結果的評價一般直接用最大翹曲變形量來進行,有時也將總平均翹曲變形量。但對於不同材料、模具結構等造成翹曲變形的影響模式改變的因素,不同設計下各部分的翹曲變形嚴重程度也隨之改變。

(7)光學平晶彎曲量測量方法擴展閱讀

平面度評定方法:

平面度誤差的評定方法有:三遠點法、對角線法、最小二乘法和最小區域法等四種。

1、三遠點法:是以通過實際被測表面上相距最遠的三點所組成的平面作為評定基準面,以平行於此基準面,且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。

2、對角線法:是以通過實際被測表面上的一條對角線,且平行於另一條對角線所作的評定基準面,以平行於此基準面且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。

3、最小二乘法:是以實際被測表面的最小二乘平面作為評定基準面,以平行於最小二乘平面,且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。最小二乘平面是使實際被測表面上各點與該平面的距離的平方和為最小的平面。此法計算較為復雜,一般均需計算機處理。

4、最小區域法:是以包容實際被測表面的最小包容區域的寬度作為平面度誤差值,是符合平面度誤差定義的評定方法。

Ⅷ 怎樣用光學平晶測量平面度

光學平晶看平面度,主要看空氣干涉條紋(光圈)。

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